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ブラックライト仕様マニュアルUV照射機 UVI-MA-シリーズ-UVI-MA
ブラックライト仕様マニュアルUV照射機 UVI-MA-シリーズ-大宮工業株式会社

ブラックライト仕様マニュアルUV照射機 UVI-MA-シリーズ
大宮工業株式会社



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この製品について

ブラックライト仕様マニュアルUV照射機は、UV硬化型のテープ糊、接着剤などを硬化させる卓上型の紫外線照射装置です。

■用途

標準採用の365nm波長のランプは半導体ウエハ製造工程におけるバックグラインド時のウエハ保護フィルムの剥離、ダイシング後のダイのピックアップなどUV硬化樹脂材の硬化に優れ、研究開発から生産現場までさまざまな用途で多数採用頂いております。

■基本操作

上部カバーを開けワークをセットし、スイッチ操作によりUV照射を行います。照射条件は正面のタッチパネルから簡単入力。設定された積算照射量 (または積算時間) になるとランプは消灯、ブザーの発報によりお知らせします。

■ハイパワー、ローコスト

36W仕様のブラックライトの採用で、ローコストながらも高照度 (10mW/cm2以上) を実現。照度の均一性もUPしました。 (当社従来比)

■選べる照射パターン

照射設定は、積算光量or照射時間を任意設定可能。タッチパネルでらくらく設定。レシピは8種類から選択できます。

■N₂パージ機能

N₂パージ機能により、酸素阻害による硬化不良を防ぎます。

■監視機能付き

照度と温度をリアルタイムで監視。異常時にはアラームでお知らせします。

■優れたメンテナンス性

開閉方式の為、使用性はもちろん、ランプ切れ確認・ランプ交換などのメンテナンス性にも優れております。

■コンパクトデザイン

テーブルトップタイプのコンパクト設計ながらも、2~12インチまで幅広いワークサイズに対応。ワークとしては最大W410mm×D360mmの大きさのワークを載せることが出来ます。

■多言語対応

タッチパネルは日本語・英語・中国語の3種類から選択可能です。

■安心設計

ブラックライト採用によりオゾン発生の無いECO仕様。作業時に蓋が開くと自動消灯する安全機能付き。

■照射マスク (オプション)

オプションのマスクを使用することで不要な部分への紫外線照射を防ぎ、ウエハ/チップ部分のみに照射することが出来ます。 また、マスクはワンタッチで簡単に取り替えることが出来、簡単に異サイズワークへ切り替えることが可能です。

  • シリーズ

    ブラックライト仕様マニュアルUV照射機 UVI-MA-シリーズ

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ブラックライト仕様マニュアルUV照射機 UVI-MA-シリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 寸法 外装 重量 照射エリア 対象ワーク UVランプ UV照度 N₂ 電源
ブラックライト仕様マニュアルUV照射機 UVI-MA-シリーズ-品番-UVI-MA

UVI-MA

要見積もり

W520×D550×H200 (mm)

SUS304

約30kg

W410×D360 (mm)

6inchダイシングフレーム×2個
8inchダイシングフレーム×1個
12inchダイシングフレーム×1個
(※12inch全体には照射できません)

ブラックライトブルーランプ36W×7本 (型式:FPL36BLB-OKK)

9mW/cm2以上

0.4~0.5Mpa100L/min

AC100V50/60Hz10A

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

大宮工業株式会社は1975年に設立した、半導体製造装置、精密測定装置などの専門メーカーです。 ウェハ(半導体素子製造の材料)を乾燥させるスピンドライヤー、ウェハ移動機、ウェハ洗浄機などの半導体製造装置を提供しています。...

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  • 本社所在地: 広島県
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