フルオートウエハエキスパンダー OEX-FA-シリーズ-OEX-FA 8inchタイプ

フルオートウエハエキスパンダー OEX-FA-シリーズ
大宮工業株式会社

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この製品について

フルオートエキスパンダーは、ダイシング後のダイシングテープの引き延ばしをおこなう装置です。テープに貼付けられたウエハの分離・拡張、グリップリングへの固定及びテープカット、ダイシングフレームからの分離を自動で行います。

■動作カセットにて供給されたダイシングフレームを1枚ずつ取出し、テープ加熱→引き延ばし→グリップリングはめ込み→ダイシングテープカット (グリップリング分離) を行います。ダイシングフレームより分離されたグリップリングは、グリップリング用カセットへ収納され、ダイシングフレームは、回収用のダイシングフレームカセットへ収納されます。

■フレーム反転機能 (下向きエキスパンド) ※特許申請中エキスパンド時に発生する屑を下に落下させ、拡張後のチップへの付着を抑制。

■高精度エキスパンドステージモーター制御による高精度なテープ拡張でより均一性、連続性のあるエキスパンドを実現。ステージストローク0～50mm。拡張スピード0.1mm/sec~設定可。

低ストローク拡張、低速度拡張など、ワイドな拡張レシピ設定が可能。 (※特許申請中) 

■除電ブロー機能エキスパンド時のワークに、イオナイザの除電エアーによるクリーニングを行います。パーティクルの付着防止に効果。

■ステージ温調機能MAX80℃設定可能なステージを搭載。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
フルオートウエハエキスパンダー OEX-FA-シリーズ

取扱企業
大宮工業株式会社

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フルオートウエハエキスパンダー OEX-FA-シリーズ品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	装置寸法	装置重量	対応サイズ	エアー	電源
	OEX-FA 8inchタイプ	要見積もり	W2,400×D1,700×H1,800 (mm) ※シグナルタワー等の突起部を除く	約1,500kg	8inchダイシングフレーム 8inchグリップリング	0.4Mpa150L/min (ANR) 以上	AC200V50/60Hz50A