全てのカテゴリ

閲覧履歴

フルオートウエハエキスパンダー OEX-FA-シリーズ-OEX-FA 8inchタイプ
フルオートウエハエキスパンダー OEX-FA-シリーズ-大宮工業株式会社

フルオートウエハエキスパンダー OEX-FA-シリーズ
大宮工業株式会社



無料
見積もり費用は無料です、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

この製品について

フルオートエキスパンダーは、ダイシング後のダイシングテープの引き延ばしをおこなう装置です。テープに貼付けられたウエハの分離・拡張、グリップリングへの固定及びテープカット、ダイシングフレームからの分離を自動で行います。

■動作

カセットにて供給されたダイシングフレームを1枚ずつ取出し、テープ加熱→引き延ばし→グリップリングはめ込み→ダイシングテープカット (グリップリング分離) を行います。ダイシングフレームより分離されたグリップリングは、グリップリング用カセットへ収納され、ダイシングフレームは、回収用のダイシングフレームカセットへ収納されます。

■フレーム反転機能 (下向きエキスパンド) ※特許申請中

エキスパンド時に発生する屑を下に落下させ、拡張後のチップへの付着を抑制。

■高精度エキスパンドステージ

モーター制御による高精度なテープ拡張でより均一性、連続性のあるエキスパンドを実現。ステージストローク0~50mm。拡張スピード0.1mm/sec~設定可。 低ストローク拡張、低速度拡張など、ワイドな拡張レシピ設定が可能。 (※特許申請中)

■除電ブロー機能

エキスパンド時のワークに、イオナイザの除電エアーによるクリーニングを行います。パーティクルの付着防止に効果。

■ステージ温調機能

MAX80℃設定可能なステージを搭載。

  • シリーズ

    フルオートウエハエキスパンダー OEX-FA-シリーズ

この製品を共有する


70人以上が見ています

最新の閲覧: 10時間前


無料
見積もり費用は無料のため、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

フルオートウエハエキスパンダー OEX-FA-シリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 装置寸法 装置重量 対応サイズ エアー 電源
フルオートウエハエキスパンダー OEX-FA-シリーズ-品番-OEX-FA 8inchタイプ

OEX-FA 8inchタイプ

要見積もり

W2,400×D1,700×H1,800 (mm)
※シグナルタワー等の突起部を除く

約1,500kg

8inchダイシングフレーム
8inchグリップリング

0.4Mpa150L/min (ANR) 以上

AC200V50/60Hz50A

この商品を見た方はこちらもチェックしています

エキスパンダをもっと見る

大宮工業の取り扱い製品

大宮工業の製品をもっと見る

この商品の取り扱い会社情報

会社概要

大宮工業株式会社は1975年に設立した、半導体製造装置、精密測定装置などの専門メーカーです。 ウェハ(半導体素子製造の材料)を乾燥させるスピンドライヤー、ウェハ移動機、ウェハ洗浄機などの半導体製造装置を提供しています。...

もっと見る

  • 本社所在地: 広島県
Copyright © 2024 Metoree