フルオートウエハエキスパンダー OEX-FA-シリーズ
大宮工業株式会社
この製品について
フルオートエキスパンダーは、ダイシング後のダイシングテープの引き延ばしをおこなう装置です。テープに貼付けられたウエハの分離・拡張、グリップリングへの固定及びテープカット、ダイシングフレームからの分離を自動で行います。
■動作
カセットにて供給されたダイシングフレームを1枚ずつ取出し、テープ加熱→引き延ばし→グリップリングはめ込み→ダイシングテープカット (グリップリング分離) を行います。ダイシングフレームより分離されたグリップリングは、グリップリング用カセットへ収納され、ダイシングフレームは、回収用のダイシングフレームカセットへ収納されます。■フレーム反転機能 (下向きエキスパンド) ※特許申請中
エキスパンド時に発生する屑を下に落下させ、拡張後のチップへの付着を抑制。■高精度エキスパンドステージ
モーター制御による高精度なテープ拡張でより均一性、連続性のあるエキスパンドを実現。ステージストローク0～50mm。拡張スピード0.1mm/sec~設定可。 低ストローク拡張、低速度拡張など、ワイドな拡張レシピ設定が可能。 (※特許申請中)■除電ブロー機能
エキスパンド時のワークに、イオナイザの除電エアーによるクリーニングを行います。パーティクルの付着防止に効果。■ステージ温調機能
MAX80℃設定可能なステージを搭載。-
シリーズ
フルオートウエハエキスパンダー OEX-FA-シリーズ
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取扱企業
大宮工業株式会社
フルオートウエハエキスパンダー OEX-FA-シリーズ 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 装置寸法 | 装置重量 | 対応サイズ | エアー | 電源 |
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OEX-FA 8inchタイプ |
要見積もり |
W2,400×D1,700×H1,800 (mm) ※シグナルタワー等の突起部を除く |
約1,500kg |
8inchダイシングフレーム 8inchグリップリング |
0.4Mpa150L/min (ANR) 以上 | AC200V50/60Hz50A |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
