フルオートウエハマウンター OTM-FA-シリーズ
大宮工業株式会社

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この製品について

フルオートウエハマウンターは、ダイシング前、ウエハをダイシングフレーム (テープフレーム) にマウントするフルオートタイプの装置です。ウエハカセットからの【ウエハ取出し】→【アライメント】→【ダイシングフレームへのテープ貼付け】→【ウエハマウント】→【所定のマガジンへの収納】まで一連の動作を自動で行います。

■概要・装置内でのインラインカット
・ロール／プリカットテープ対応
・タッチパネルによる簡単操作
・多彩なレシピ選択による貼付・収納パターン
・真空貼付ユニット搭載可能 (オプション) 
・ウエハマウント後の保護テープはく離搭載可能 (オプション) 
・BG保護テープ用UV照射ユニット搭載可能 (オプション) 
・ウエハ以外のワークも対応可能 (オプション) 
・SECS通信対応 (オプション) 

■パターン面非接触貼付パターン面を吸着しない貼付けが可能です。吸着によるダメージを防止し、極薄ウエハ、MEMSなど繊細なウエハに配慮した貼付方法を提案します。

■異サイズ兼用非接触アライメントアライナーは当社独自の非接触方式を採用。外周数mmのみの吸着によるアライメントを行うことで、製品エリアへの吸着痕、パーティクルの付着およびエッジクランプで生じるエッジ欠けなどの心配がありません。

■パターン面非接触ハンドリング非接触による搬送の対応も可能です。外周吸着ハンドやベルヌーイハンドなど様々なハンドを取り付け可能です。

反り・たわみのあるウエハに対しても、搬送方法の検証を行い御提案させて頂きます。

■貼付けテープの消費量を極力抑え、ダイシングフレーム (テープフレーム) への傷の発生やフレームとカッターの接触による金属粉の発生を抑えたユニークな貼付けを提案致します。

また、オプションの真空貼付けにより、近年IGBTなどで注目を集めるTAIKOウエハのような段差や凹凸のあるウエハに追従した貼付けやMEMSウエハ、薄厚ウエハなど脆弱なウエハへの低テンション貼付けが可能です。