セミオート真空マウンター OVM-SA-シリーズ-OVM-SA
セミオート真空マウンター OVM-SA-シリーズ-大宮工業株式会社

セミオート真空マウンター OVM-SA-シリーズ
大宮工業株式会社



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この製品について

ウエハを真空チャンバー内で貼付けすることができるセミオートタイプのテープマウンターです。当社独自のプリカットユニットも標準搭載しており、ダイシングフレームとウエハをセットするだけで高品質な貼付けを簡単・低ランニングコストで実現できます。

■非接触貼付 (特許) ノンダメージ

ローラーを用いない独自の非接触差圧貼付け方式を採用 (特許) 。製品へのダメージを低減することが出来ます。 プリカット機構併用でリングフレームへのダメージと発塵がゼロ。

■廃棄幅『0』 (特許)

当社独自開発のプリカット方式を採用。 通常のロールで取り数が約40%UP、プリカットテープと比較しても10%UPを実現。

■ウエハ ハンドリング治具

『割れ易いウエハをピンセットで搬送してるんですが、時々割っちゃって・・・』 そんなお悩みもこれがあれば解決。全面吸着なのにシースルー仕様となっている為、ウエハを目視確認しながら吸着とリリースが出来ます。 視認性の良さは作業性に直結します。

■リワーク用の吸着ステージ

試作、条件出しをする際に一度貼ったテープを剥がしたい・・・でも装置の吸着ステージは簡単には使えない。 そんなときに吸着固定できる専用ステージは如何でしょうか。 『剥がしている時に割っちゃうんだよなぁ~』というお悩みもこれで解消。

■コンパクト設計

フットプリントは業界最小。少ないスペースで最高の投資効果を発揮。

  • シリーズ

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セミオート真空マウンター OVM-SA-シリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 寸法 重量 対応ワークサイズ 対応フレーム 使用テープ 到達真空度 貼付精度
セミオート真空マウンター OVM-SA-シリーズ-品番-OVM-SA

OVM-SA

要見積もり W760×D1,200×H1,600 (mm) 約350kg ~8inch 6/8inchダイシングフレーム [幅:300mm]×[外径:max.φ200]×[内径:φ76∼77] 30Pa以下 ±1mm以内

のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

大宮工業株式会社は1975年に設立した、半導体製造装置、精密測定装置などの専門メーカーです。 ウェハ(半導体素子製造の材料)を乾燥させるスピンドライヤー、ウェハ移動機、ウェハ洗浄機などの半導体製造装置を提供しています。...

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  • 本社所在地: 広島県
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