セミオート真空マウンター OVM-SA-シリーズ
大宮工業株式会社

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この製品について

ウエハを真空チャンバー内で貼付けすることができるセミオートタイプのテープマウンターです。当社独自のプリカットユニットも標準搭載しており、ダイシングフレームとウエハをセットするだけで高品質な貼付けを簡単・低ランニングコストで実現できます。

■非接触貼付 (特許) ノンダメージローラーを用いない独自の非接触差圧貼付け方式を採用 (特許) 。製品へのダメージを低減することが出来ます。 プリカット機構併用でリングフレームへのダメージと発塵がゼロ。

■廃棄幅『0』 (特許) 当社独自開発のプリカット方式を採用。 通常のロールで取り数が約40％UP、プリカットテープと比較しても10％UPを実現。

■ウエハ ハンドリング治具『割れ易いウエハをピンセットで搬送してるんですが、時々割っちゃって・・・』 そんなお悩みもこれがあれば解決。全面吸着なのにシースルー仕様となっている為、ウエハを目視確認しながら吸着とリリースが出来ます。

視認性の良さは作業性に直結します。

■リワーク用の吸着ステージ試作、条件出しをする際に一度貼ったテープを剥がしたい・・・でも装置の吸着ステージは簡単には使えない。 そんなときに吸着固定できる専用ステージは如何でしょうか。

『剥がしている時に割っちゃうんだよなぁ～』というお悩みもこれで解消。

■コンパクト設計フットプリントは業界最小。少ないスペースで最高の投資効果を発揮。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
セミオート真空マウンター OVM-SA-シリーズ

取扱企業
大宮工業株式会社

カテゴリ

FA機器

マウンター

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セミオート真空マウンター OVM-SA-シリーズ品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	寸法	重量	対応ワークサイズ	対応フレーム	使用テープ	到達真空度	貼付精度
	OVM-SA	要見積もり	W760×D1,200×H1,600 (mm)	約350kg	~8inch	6/8inchダイシングフレーム	[幅：300mm]×[外径：max.φ200]×[内径：φ76∼77]	30Pa以下	±1mm以内