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セミオート真空マウンター OVM-SA-シリーズ-OVM-SA
セミオート真空マウンター OVM-SA-シリーズ-大宮工業株式会社

セミオート真空マウンター OVM-SA-シリーズ
大宮工業株式会社

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この製品について

ウエハを真空チャンバー内で貼付けすることができるセミオートタイプのテープマウンターです。当社独自のプリカットユニットも標準搭載しており、ダイシングフレームとウエハをセットするだけで高品質な貼付けを簡単・低ランニングコストで実現できます。

■非接触貼付 (特許) ノンダメージ

ローラーを用いない独自の非接触差圧貼付け方式を採用 (特許) 。製品へのダメージを低減することが出来ます。 プリカット機構併用でリングフレームへのダメージと発塵がゼロ。

■廃棄幅『0』 (特許)

当社独自開発のプリカット方式を採用。 通常のロールで取り数が約40％UP、プリカットテープと比較しても10％UPを実現。

■ウエハ ハンドリング治具

『割れ易いウエハをピンセットで搬送してるんですが、時々割っちゃって・・・』 そんなお悩みもこれがあれば解決。全面吸着なのにシースルー仕様となっている為、ウエハを目視確認しながら吸着とリリースが出来ます。 視認性の良さは作業性に直結します。

■リワーク用の吸着ステージ

試作、条件出しをする際に一度貼ったテープを剥がしたい・・・でも装置の吸着ステージは簡単には使えない。 そんなときに吸着固定できる専用ステージは如何でしょうか。 『剥がしている時に割っちゃうんだよなぁ～』というお悩みもこれで解消。

■コンパクト設計

フットプリントは業界最小。少ないスペースで最高の投資効果を発揮。

  • シリーズ

    セミオート真空マウンター OVM-SA-シリーズ

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セミオート真空マウンター OVM-SA-シリーズ 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 寸法 重量 対応ワークサイズ 対応フレーム 使用テープ 到達真空度 貼付精度
セミオート真空マウンター OVM-SA-シリーズ-品番-OVM-SA

OVM-SA

要見積もり

W760×D1,200×H1,600 (mm)

約350kg

~8inch

6/8inchダイシングフレーム

[幅：300mm]×[外径：max.φ200]×[内径：φ76∼77]

30Pa以下

±1mm以内

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この商品の取り扱い会社情報

大宮工業株式会社

会社概要

大宮工業株式会社は1975年に設立した、半導体製造装置、精密測定装置などの専門メーカーです。 ウェハ（半導体素子製造の材料）を乾燥させるスピンドライヤー、ウェハ移動機、ウェハ洗浄機などの半導体製造装置を提供しています。...

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  • 本社所在地: 広島県

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