高性能クリーンオーブン-PVC−212
高性能クリーンオーブン-エスペック株式会社

高性能クリーンオーブン
エスペック株式会社

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この製品について

■クラス5の高クリーン度

前面吹出しとHEPAフィルタがつくりだすクラス5の清浄度に加え、タテ型スリム設計によるスペースセービング、安全対策のいっそうの充実を実現。清浄空気条件が求められる部品や器具のベーキングや熱処理、乾燥に活躍します。さらに、用途にあわせた2タイプのプログラム計装は、対話型設定方式を採用しています。 また、新開発の高温型HEPA フィルタをそなえ、+150℃以上の高温度域での温度上昇・降下時においても安定したフィルタ性能を発揮する高性能タイプも用意しております。

■コンタミネーションフリーの気密構造

溶接による気密構造の採用により、板金接合部からの断熱材などのもれがなく試料への汚染を防止。また、器内振動もおさえ試料への影響を少なくしています。

■高精度な無酸化雰囲気熱処理を実現

N2ガス導入装置 (オプション) と酸素センサーを備えたO2濃度指示調節装置 (オプション) の併用により、任意の無酸化雰囲気での熱処理や温度特性試験が行えます。

■熱処理の全工程にわたって自動運転が可能な高性能タイプ

温度上昇→処理→温度下降の全工程にわたって自動運転が行えるように自動ダンパーを標準装備しています。

■温度上昇・下降時にも高いクリーン度を実現する高性能タイプ

高性能クリーンオーブンは+150℃以上の高温度での温度上昇・下降時においても安定したフィルター性能を発揮する高温型HEPAフィルターを採用し、全温度域を通じて高いクリーン度を実現。配向膜やフォトレジストの乾燥など、液晶生産時の熱処理などに活躍します。

■きめ細やかな安全対策

温度調節器には設定温度+10℃の自動温度過昇防止機能と任意設定の上・下限温度 警報機能を備えるとともに、チャンバー側にも独立した温度過昇防止器を標準装備。異常発生時には計装画面にアラームナンバーを表示し警報ブザーでお知らせします。

■簡単操作の標準計装

定値運転モードや自動起動・自動停止などの動作設定が可能なプログラム運転などが行える標準計装をご用意。生産ラインでの熱処理や乾燥などの用途にご利用いただけます。

  • シリーズ

    高性能クリーンオーブン

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高性能クリーンオーブン 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 方式 電源 最大消費電力 (kVA) 運転可能外囲条件 温度範囲 温度変動幅 温度分布 温度上昇時間 清浄度 外殻 内槽 断熱材 集塵要素 加熱器 送風機 ダンパー 装備品 内法 (W×H×Dmm) 外法 (W×H×Dmm) 内容量 (L) 重量 (kg)
高性能クリーンオーブン-品番-PVC−212

PVC−212

要見積もり 前面吹出型水平層流循環換気方式 AC200V 3φ 3W 50/60Hz (電源電圧変動:定格の±10%以内) 3.8 温度:0~+40℃ 湿度:~75%rh (外囲温度+60) ℃~+200℃ ±0.5℃ ±1.5℃ at +100℃
±2.0℃ at +200℃
外囲温度から+200℃まで 60分以内 温度安定時 クラス5 (対象粒径 0.5μm) 防錆処理冷間圧延鋼板 (メラミン樹脂焼付塗装) ステンレス鋼板 グラスウール 耐熱HEPAフィルター シーズヒーター ステンレス製シロッコファン 循環一換気 (手動切替) 電源ケーブル (器外約2m) 、試料電源制御端子、クリーンメーター (フィルター寿命表示用) 、ケーブル孔φ25mm (左側面 1個 キャップ付) 580×530×580 770×1,280×1,025 178 220

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会社概要

エスペック株式会社は、1947年に理化学機械の製造を目的として創業し、現在では環境試験器を主力事業とする東京証券取引所第一部上場企業である。本社所在地は大阪府大阪市。 1947年科学機器の製造を目的として、現本社所在地に...

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  • 本社所在地: 大阪府
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