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顕微鏡 Wafer Load-ウエハ搬送装置
顕微鏡 Wafer Load-達華産業株式会社

顕微鏡 Wafer Load
達華産業株式会社



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この製品について

■概要

検査装置を問わず装置側にウエハ・ガラス関連製品を自動搬送するシステム ・専用ソフトウエアによるカセット単位での完全自動搬送 ・搬送側での測定ウエハの選択 マニュアル搬送可能 ・ウエハ検出システムにより無駄のないタクトを実現 ・繰り返し性の高い駆動系で高信頼性の搬送可能 ・装置側の様々なステージに搬送を実現

■装置特徴

・顕微鏡メーカーを問わず搬送可能 ・自動ステージとの組合せでフルオート搬送可能 (検査装置側との通信が必要になります) ・マニュアル搬送モード

  • シリーズ

    顕微鏡 Wafer Load

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顕微鏡 Wafer Load 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) ウエハサイズ ガラスサイズ ウエハ厚み ウエハ搬送/保持 オリフラ/ノッチ検出 カセット 装置寸法 用力
顕微鏡 Wafer Load-品番-ウエハ搬送装置

ウエハ搬送装置

要見積もり

Φ100mm~300mm

角50mm~300mm

400μ~1500μ
*これ以外のサイズの場合は搬送テストが必要になります

真空吸着式メカ搬送

透過型センサ

都度確認 複数種対応検討可能

6インチ卓上型 600 (W) ×670 (D) ×670 (H)

電力AC100V ±10%
真空-800hPa/正圧

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