顕微鏡 Wafer Load
達華産業株式会社
この製品について
■概要
検査装置を問わず装置側にウエハ・ガラス関連製品を自動搬送するシステム ・専用ソフトウエアによるカセット単位での完全自動搬送 ・搬送側での測定ウエハの選択 マニュアル搬送可能 ・ウエハ検出システムにより無駄のないタクトを実現 ・繰り返し性の高い駆動系で高信頼性の搬送可能 ・装置側の様々なステージに搬送を実現■装置特徴
・顕微鏡メーカーを問わず搬送可能 ・自動ステージとの組合せでフルオート搬送可能 (検査装置側との通信が必要になります) ・マニュアル搬送モード-
シリーズ
顕微鏡 Wafer Load
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取扱企業
達華産業株式会社
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顕微鏡 Wafer Load 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | ウエハサイズ | ガラスサイズ | ウエハ厚み | ウエハ搬送/保持 | オリフラ/ノッチ検出 | カセット | 装置寸法 | 用力 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
ウエハ搬送装置 |
要見積もり | Φ100mm~300mm | 角50mm~300mm |
400μ~1500μ ＊これ以外のサイズの場合は搬送テストが必要になります |
真空吸着式メカ搬送 | 透過型センサ | 都度確認 複数種対応検討可能 | 6インチ卓上型 600 (W) ×670 (D) ×670 (H) |
電力AC100V ±10% 真空-800hPa/正圧 |
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この商品の取り扱い会社情報
- 本社所在地: 東京都