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ロールコータの製品16点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 到達圧力 | 真空計 | ワークサイズ | 送り速度 | 真空槽 | ロールコーン | 軸シール | 成膜前プラズマ処理 | 蒸発源 | 主ポンプ | 水分排気 | プロセスガス | 床面積 | ユーティリティ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
SRC-100V |
要見積もり |
×10‒5Pa |
BAゲージ、キャパシタンスマノメーター |
W100mm×L200m×t 50~100um |
0.2~4m/min (CW/CCW 可能) |
SUS304 W500×H850×D450mm |
φ250 水冷式 |
磁気シール使用 |
13.56MHz RF電極 ×1式 |
① 70×200 DCマグネトロン型×2式まで |
TMP 1100L/s |
CRYOスーパートラップ |
Ar , O2 , N2 , マスフローコントローラ使用 |
4m2 |
・AC200V 3φ 100A |
