超純水加熱装置 PWH-24i/PWH-48i/PWH-72i/PWH-96i/PWH-144i
入江株式会社
この製品について
■特長
本装置は半導体製造ラインにおけるシリコンウェハの洗浄、液晶製造ラインにおけるガラス基板の洗浄等に使用される超純水を加熱する装置です。加熱部は高品質の石英ガラスで2重に覆れたハ口ゲンランプで構成されているため、不純物汚染のない、高効率の超純水加熱装置です。また、特にコンパクト・スリムな設計ですのでユースポイントの設置場所を最小限にできます。■クリーン
加熱部の容器は石英ガラス、配部管は フッ素樹脂。■コンパクト
設置面積を取らない薄型でコンパクト。■高性能温調
高出力ハロゲンランプによる優れた昇温立ち上がり特性と流量変化にも対応する温調。■高効率
加熱効率95%以上。■安全
過昇温・空焚き・漏水等に対する安全機能及び警報機能により安全性に対応■用途
・シリコンウェハーの洗浄。 ・液晶用ガラス基板の洗浄。 ・その他のフロン系洗浄に代わる温純水洗浄。-
シリーズ
超純水加熱装置 PWH-24i/PWH-48i/PWH-72i/PWH-96i/PWH-144i
-
取扱企業
入江株式会社
-
カテゴリ
入江株式会社のレビュー (1件)
4.5Metoree経由で見積もりをしたユーザーからのレビュー
投稿した日時: 2024年5月20日
顧客対応への満足度
顧客対応への満足度の理由
対応が早い。
初回対応までの時間への満足度
初回対応までの時間
0.65時間
加熱装置注目ランキング
もっと見る
加熱装置の製品540点中、注目ランキング上位6点
電話番号不要
何社からも電話が来る心配はありません
まとめて見積もり
複数社に同じ内容の記入は不要です
返答率96%以上
96%以上の方が返答を受け取っています
加熱装置注目ランキング (対応の早い企業)
平均返答時間が24時間以内の企業の中での注目ランキング
電話番号不要
何社からも電話が来る心配はありません
まとめて見積もり
複数社に同じ内容の記入は不要です
返答率96%以上
96%以上の方が返答を受け取っています
超純水加熱装置 PWH-24i/PWH-48i/PWH-72i/PWH-96i/PWH-144i 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 加熱方式 | ヒータ電力量 | 標準流量 (55℃昇温時) | 最小加熱流量 | 設定温度範囲 | 温度制御精度 | 流量表示範囲 | ヒータ | 加熱部容器材質 | 器具・配管接液材質 | 安全機能 | 外部通信機能 | 外部入出力機能 | 外形寸法 (mm) | 重量 | 電源 (50/60Hz) (3相3栓) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
PWH-24i |
要見積もり | 近赤外線光による放射加熱方式 | 24kW | 6L/min | 2L/min | 25~85℃ | ±1℃ | 0~10L/min | ハロゲンランプ、液に直接触れない間接加熱方式 | 高純度透明石英 | フッ素樹脂 | 流量異常、過昇温、空焚き、液漏れ、センサ断線、ランプ断線等、検出時出力停止、警報・表示、警報を接点出力 | RS-232C/RS-485 (オプション) 同時選択はできません | 8-入力/14-出力信号 (個別仕様により、異なる場合があります) | W340×D850×H1,384 | 約90kg | AC200/208V 共用 69/67A |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
