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接触角計、最大200mmウェハー用の特別ソリューション SURFTENS HL-SURFTENS HL
接触角計、最大200mmウェハー用の特別ソリューション SURFTENS HL-入江株式会社

接触角計、最大200mmウェハー用の特別ソリューション SURFTENS HL
入江株式会社

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この製品について

■SURFTENS HL

接触角計SURFTENS HLは、半導体産業や研究、特にウェハーコーティングやフォトリソプロセスのプロセス制御用に設計されています。

■特徴

・接触角の迅速かつ簡単な測定 ・省スペース構造 ・ウェハー上の接触角分布を素早くマッピングするための特殊なテーブル構造 ・直感的な操作が可能なソフトウェア ・測定結果のプロトコルやビデオ画像による優れたドキュメント化 ・オプションでラップトップまたはデスクトップPCで使用可能

■アプリケーション

シリコンウェハーの濡れ挙動を調節することは、プロセスの特性評価、技術パラメータの調整、生産管理のため、半導体技術における標準的なプロセスステップです。したがって、調節工程の前後で接触角や表面自由エネルギーを客観的かつ正確に測定することが必要不可欠です。この目的のためには、堅牢で使いやすい接触角測定装置が必要です。 SURFTENS HLは、半導体技術や研究におけるニーズを満たすために開発されました。操作は簡単で、短期間のトレーニングで誰でも使用できます。手動操作のため、魅力的な価格を実現しました。SURFTENS HLは、標準的なプロセス制御だけでなく、研究開発にも使用されています。ソフトウェア “SURFTENS ”と連携して、固体の接触角と表面自由エネルギーを測定することができます。優れたドキュメント化機能は、品質保証や研究に協力に役立ちます。

■測定ソフトウェア

基本的に、測定ソフトウェアSURFTENSは、液滴形状の様々なフィッティング方法による固着液滴の接触角の完全自動測定を可能にします。液滴は画像処理により自動的に検出されます。コントラストが重要な場合には、ベースラインの手動設定やモニター上の測定ポイント設定による接触角の完全手動測定など、液滴検出のための追加オプションが提供されます。以下のような測定機能や設定機能が追加機能として設けられています。 ・ライブビデオ画像で現在の接触角をリアルタイム表示 ・時間に依存する接触角の自動測定とダイアグラム表示 (サイクルタイムは50回 / 秒まで自由に選択可能) ・ライブビデオ画像での前進・後退接触角測定 ・左右の接触角の同時測定 ・滴下中、滴下後の液滴量検出

  • シリーズ

    接触角計、最大200mmウェハー用の特別ソリューション SURFTENS HL

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接触角計、最大200mmウェハー用の特別ソリューション SURFTENS HL 品番1件

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商品画像 品番 価格 (税抜) 試料台 試験片厚さ 接触角測定範囲 接触角測定の分解能/精度 光学系 (標準装備) カメラ (標準装備) 測定光学系の傾斜角度 投与システム (標準) 投与システム (代替) 滴下量の再現性 光源 ソフトウェア
接触角計、最大200mmウェハー用の特別ソリューション SURFTENS HL-品番-SURFTENS HL

SURFTENS HL

要見積もり

直径200mmまたは300mm x/φ位置決め

0~5mm

1°~180°

接触角標準器を使用したライブ画像上で±0.05°/ ±0.5

倍率1倍、電動フォーカス可能

モノクロUSB 2.0カメラ、440,000ピクセル

約1°に固定

手動単発投与ユニット

手動二重投与ユニットまたは全自動投与システム

0.1μl

長寿命ライトパッド

SURFTENS for Windows

フィルターから探す

接触角計をフィルターから探すことができます

使用用途

#濡れ性評価 #表面処理評価 #コーティング評価 #接着性評価 #洗浄効果確認 #インク付着評価 #撥水性評価

測定機能

静的接触角 動的接触角測定

測定対象

板状試料 ウエハ 微細試料 大型基板 平板状 円柱状

操作性

全自動測定 自動測定 手動

接触角測定範囲 °

0 - 10 10 - 100 100 - 200

カメラ 万画素

0 - 100 100 - 1,000 1,000 - 6,000

ステージサイズ mm

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重量 kg

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会社概要

入江株式会社は、東京都中央区に本社を置く、製造機械、製造消耗品、測定・検査機器などを販売する、科学技術専門の商社である。 基礎研究分野、大学、半導体エネルギー・液晶産業、二次電池・太陽電池などの新エネルギー、医療・医薬品...

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