平坦度・ボウ・ワープ・曲率・厚み 非接触光学自動計測装置 OEG FLATSCAN
入江株式会社
この製品について
■FLATSCAN
FLATSCANはウェハーのワープ、ボウ、傾き、表面曲率の自動2次元・3次元測定装置です。ウェハーやガラス基板における薄膜応力の計算モジュールが付属します。■用途
FLATSCANは、シリコンウェハー、ミラー、X線ミラー (ゴーペルミラー) 、金属表面や研磨されたポリマーのようなあらゆる種類の反射面の平坦度、うねり、平均半径および薄膜応力の非接触測定に使用されます。垂直入射レーザビームの反射角の測定を、ある線に沿って等間隔で行うことで高い精度を保証します。表面形状は測定点間の反射角の変化から正確に計算することができます。反射角度の評価が必要な用途向けに、ソフトウェアに測定オプションが搭載されています。 半導体応用の一例として、コーティングにおける薄膜応力を、コーティング前後に測定した曲率半径から計算することもできます。■大きな測定フィールドが可能
本装置の大きな特徴の一つは、測定フィールドの大きさに依存しないことです。したがって、200mmの測定フィールド径が標準ですが、精度を低下させることなくフィールドを任意に増加させることができます。■高い測定精度
FLATSCANは高い測定精度を特長としています。測定システムの分解能は0.1 arcsecです。表面形状の再現性は100nmに達します。■広い測定ダイナミックレンジ、作動距離
測定範囲は、最大測定高さ (または測定可能な最小曲率半径) まで、たった1回のスキャンで測定できます。FLATSCANは、フリンジ干渉法のような競合方式では達成できない、非常に大きな測定範囲をもつ特徴があります。従ってFLATSCANは、ゴーベルミラー、シリコンウェハーのような強い曲率を有する表面の測定に適しています。測定ヘッドは試料からの長い作動距離を確保しており、試料を損傷するおそれはありません。■2D、3D測定 (オプション)
デバイスタイプに応じて、シングルラインスキャンまたは完全な3Dスキャンを実行できます。3Dスキャンは、自動的なサンプル位置決めから多数のシングルラインスキャンを行うものです。ソフトウェアは、3D表示、断面図、測定プロトコルなどの測定結果をグラフィカルに表示するための機能を備えています。-
シリーズ
平坦度・ボウ・ワープ・曲率・厚み 非接触光学自動計測装置 OEG FLATSCAN
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取扱企業
入江株式会社
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カテゴリ
入江株式会社のレビュー (1件)
4.5Metoree経由で見積もりをしたユーザーからのレビュー
投稿した日時: 2024年5月20日
顧客対応への満足度
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対応が早い。
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初回対応までの時間
0.65時間
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平坦度・ボウ・ワープ・曲率・厚み 非接触光学自動計測装置 OEG FLATSCAN 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 表面曲率再現性 (PV) | 光学測定システムの分解能 | 光学測定システムの精度 | 測定速度 | 測定フィールド | サンプル厚さ | スキャン長に対する最小曲率半径および最大測定高さ | 自由作動距離 | 測定波長 | 自動測定シーケンス |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
FLATSCAN |
要見積もり | ≦100nm | 0.1 arcsec | 1 arcsec | 10mm~30mm /秒 | 標準 ø200mm* (より大きなフィールドも可能です) | 制限なし | 200mm R =18m, 290μm、300mm R =25m, 435μm、500mm R =43m, 725μm | 制限なし | 標準 670nm | 可能 |
のついている項目名や値は、Metoreeの自然言語処理アルゴリズムを用いて自動生成された値です。各メーカーの製品を横断して比較しやすくするための参考としてご利用ください。自動生成データは黒色の文字、元データは灰色の文字です。
