平坦度・ボウ・ワープ・曲率・厚み非接触光学自動計測装置　OEG FLATSCAN
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この製品について

■FLATSCANFLATSCANはウェハーのワープ、ボウ、傾き、表面曲率の自動2次元・3次元測定装置です。ウェハーやガラス基板における薄膜応力の計算モジュールが付属します。

■用途FLATSCANは、シリコンウェハー、ミラー、X線ミラー (ゴーペルミラー) 、金属表面や研磨されたポリマーのようなあらゆる種類の反射面の平坦度、うねり、平均半径および薄膜応力の非接触測定に使用されます。垂直入射レーザビームの反射角の測定を、ある線に沿って等間隔で行うことで高い精度を保証します。表面形状は測定点間の反射角の変化から正確に計算することができます。反射角度の評価が必要な用途向けに、ソフトウェアに測定オプションが搭載されています。

半導体応用の一例として、コーティングにおける薄膜応力を、コーティング前後に測定した曲率半径から計算することもできます。

■大きな測定フィールドが可能本装置の大きな特徴の一つは、測定フィールドの大きさに依存しないことです。したがって、200mmの測定フィールド径が標準ですが、精度を低下させることなくフィールドを任意に増加させることができます。

■高い測定精度FLATSCANは高い測定精度を特長としています。測定システムの分解能は0.1 arcsecです。表面形状の再現性は100nmに達します。

■広い測定ダイナミックレンジ、作動距離測定範囲は、最大測定高さ (または測定可能な最小曲率半径) まで、たった1回のスキャンで測定できます。FLATSCANは、フリンジ干渉法のような競合方式では達成できない、非常に大きな測定範囲をもつ特徴があります。従ってFLATSCANは、ゴーベルミラー、シリコンウェハーのような強い曲率を有する表面の測定に適しています。測定ヘッドは試料からの長い作動距離を確保しており、試料を損傷するおそれはありません。

■2D、3D測定 (オプション) デバイスタイプに応じて、シングルラインスキャンまたは完全な3Dスキャンを実行できます。3Dスキャンは、自動的なサンプル位置決めから多数のシングルラインスキャンを行うものです。ソフトウェアは、3D表示、断面図、測定プロトコルなどの測定結果をグラフィカルに表示するための機能を備えています。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
平坦度・ボウ・ワープ・曲率・厚み非接触光学自動計測装置　OEG FLATSCAN

取扱企業
入江株式会社

カテゴリ

測定機器

光学測定器

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平坦度・ボウ・ワープ・曲率・厚み非接触光学自動計測装置　OEG FLATSCAN 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	表面曲率再現性 (PV)	光学測定システムの分解能	光学測定システムの精度	測定速度	測定フィールド	サンプル厚さ	スキャン長に対する最小曲率半径および最大測定高さ	自由作動距離	測定波長	自動測定シーケンス
	FLATSCAN	要見積もり	≦100nm	0.1 arcsec	1 arcsec	10mm~30mm /秒	標準 ø200mm* (より大きなフィールドも可能です)	制限なし	200mm R =18m, 290μm、300mm R =25m, 435μm、500mm R =43m, 725μm	制限なし	標準 670nm	可能