平坦度・ボウ・ワープ・曲率・厚み非接触光学自動計測装置　OEG FLATSCAN
入江株式会社

入江株式会社の対応状況

返答率

100.0%

返答時間

13.3時間

企業レビュー

4.8

返信の比較的早い企業

無料
見積もり費用は無料です、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

この製品について

■FLATSCANFLATSCANはウェハーのワープ、ボウ、傾き、表面曲率の自動2次元・3次元測定装置です。ウェハーやガラス基板における薄膜応力の計算モジュールが付属します。

■用途FLATSCANは、シリコンウェハー、ミラー、X線ミラー (ゴーペルミラー) 、金属表面や研磨されたポリマーのようなあらゆる種類の反射面の平坦度、うねり、平均半径および薄膜応力の非接触測定に使用されます。垂直入射レーザビームの反射角の測定を、ある線に沿って等間隔で行うことで高い精度を保証します。表面形状は測定点間の反射角の変化から正確に計算することができます。反射角度の評価が必要な用途向けに、ソフトウェアに測定オプションが搭載されています。

半導体応用の一例として、コーティングにおける薄膜応力を、コーティング前後に測定した曲率半径から計算することもできます。

■大きな測定フィールドが可能本装置の大きな特徴の一つは、測定フィールドの大きさに依存しないことです。したがって、200mmの測定フィールド径が標準ですが、精度を低下させることなくフィールドを任意に増加させることができます。

■高い測定精度FLATSCANは高い測定精度を特長としています。測定システムの分解能は0.1 arcsecです。表面形状の再現性は100nmに達します。

■広い測定ダイナミックレンジ、作動距離測定範囲は、最大測定高さ (または測定可能な最小曲率半径) まで、たった1回のスキャンで測定できます。FLATSCANは、フリンジ干渉法のような競合方式では達成できない、非常に大きな測定範囲をもつ特徴があります。従ってFLATSCANは、ゴーベルミラー、シリコンウェハーのような強い曲率を有する表面の測定に適しています。測定ヘッドは試料からの長い作動距離を確保しており、試料を損傷するおそれはありません。

■2D、3D測定 (オプション) デバイスタイプに応じて、シングルラインスキャンまたは完全な3Dスキャンを実行できます。3Dスキャンは、自動的なサンプル位置決めから多数のシングルラインスキャンを行うものです。ソフトウェアは、3D表示、断面図、測定プロトコルなどの測定結果をグラフィカルに表示するための機能を備えています。

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
平坦度・ボウ・ワープ・曲率・厚み非接触光学自動計測装置　OEG FLATSCAN

取扱企業
入江株式会社

カテゴリ

測定機器

光学測定器

企業レビュー 4.8

Metoree経由で見積もり

2024年12月13日にレビュー済み

顧客対応への満足度

当日返信、翌日に概算の見積もりをいただきました。

初回対応までの時間への満足度

13.76時間

Metoree経由で見積もり

2024年5月20日にレビュー済み

顧客対応への満足度

対応が早い。

初回対応までの時間への満足度

0.65時間

この商品に関する問題を報告する

30人以上が見ています

返答率: 100.0%

無料
見積もり費用は無料のため、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

光学測定器注目ランキング

光学測定器の製品259点中、注目ランキング上位6点

非接触･非破壊にて測定可能レーザーエリプソメータ (自動楕円偏光解析装置)

ファイブラボ株式会社

500人以上が見ています

最新の閲覧: 10時間前

高速分光測光器 (ポリクロメーター) CAS140D

コニカミノルタジャパン株式会社

390人以上が見ています

最新の閲覧: 20時間前

光学検査機器 LED駆動電源LSCM

ND精工株式会社

360人以上が見ています

最新の閲覧: 5時間前

葉緑素計

富士理化工業株式会社

290人以上が見ています

光学検査機器分光測光装置光源の質と量を測定する分光器 OCM510シリーズ

ND精工株式会社

280人以上が見ています

最新の閲覧: 12時間前

原料・中間製品・最終製品の濃度をリアルタイムで測定プロセスセンサインライン屈折計 L-Rix

株式会社アントンパール・ジャパン

250人以上が見ています

最新の閲覧: 8時間前

電話番号不要

何社からも電話が来る心配はありません

一括見積もり

複数社に同じ内容の記入は不要です

返答率96%

96%以上の方が返答を受け取っています

一括見積もりの使い方

光学測定器注目ランキング (対応の早い企業)

返答時間が24時間以内の企業の中での注目ランキング

高速分光測光器 (ポリクロメーター) CAS140D

コニカミノルタジャパン株式会社

390人以上が見ています

最新の閲覧: 20時間前

返答時間: 6.76時間

LED・一般照明評価装置積分球システム (全光束)

コニカミノルタジャパン株式会社

250人以上が見ています

最新の閲覧: 23時間前

返答時間: 6.76時間

LN2 液体窒素クライオスタット (真空･熱伝導冷却) VPF-100/100-H

株式会社東陽テクニカ

250人以上が見ています

最新の閲覧: 7時間前

返答時間: 5.03時間

レーザーオートコリメータ

中央精機株式会社

240人以上が見ています

最新の閲覧: 8時間前

返答時間: 0.39時間

金属分析装置 (発光分光分析装置) OSK 75GQ M5000

オガワ精機株式会社

4.8 企業レビュー

220人以上が見ています

最新の閲覧: 12時間前

返答時間: 14.70時間

融点測定器 OSK 50LS 500M

オガワ精機株式会社

4.8 企業レビュー

170人以上が見ています

最新の閲覧: 8時間前

返答時間: 14.70時間

電話番号不要

何社からも電話が来る心配はありません

一括見積もり

複数社に同じ内容の記入は不要です

返答率96%

96%以上の方が返答を受け取っています

一括見積もりの使い方

平坦度・ボウ・ワープ・曲率・厚み非接触光学自動計測装置　OEG FLATSCAN 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	表面曲率再現性 (PV)	光学測定システムの分解能	光学測定システムの精度	測定速度	測定フィールド	サンプル厚さ	スキャン長に対する最小曲率半径および最大測定高さ	自由作動距離	測定波長	自動測定シーケンス
	FLATSCAN	要見積もり	≦100nm	0.1 arcsec	1 arcsec	10mm~30mm /秒	標準 ø200mm* (より大きなフィールドも可能です)	制限なし	200mm R =18m, 290μm、300mm R =25m, 435μm、500mm R =43m, 725μm	制限なし	標準 670nm	可能