全てのカテゴリ

閲覧履歴

平坦度・ボウ・ワープ・曲率・厚み 非接触光学自動計測装置 OEG FLATSCAN
入江株式会社

入江株式会社の対応状況 返信の早い企業

返答率

100.0%

返答時間

10.8時間


無料
見積もり費用は無料です、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

この製品について

■FLATSCAN

FLATSCANはウェハーのワープ、ボウ、傾き、表面曲率の自動2次元・3次元測定装置です。ウェハーやガラス基板における薄膜応力の計算モジュールが付属します。

■用途

FLATSCANは、シリコンウェハー、ミラー、X線ミラー (ゴーペルミラー) 、金属表面や研磨されたポリマーのようなあらゆる種類の反射面の平坦度、うねり、平均半径および薄膜応力の非接触測定に使用されます。垂直入射レーザビームの反射角の測定を、ある線に沿って等間隔で行うことで高い精度を保証します。表面形状は測定点間の反射角の変化から正確に計算することができます。反射角度の評価が必要な用途向けに、ソフトウェアに測定オプションが搭載されています。 半導体応用の一例として、コーティングにおける薄膜応力を、コーティング前後に測定した曲率半径から計算することもできます。

■大きな測定フィールドが可能

本装置の大きな特徴の一つは、測定フィールドの大きさに依存しないことです。したがって、200mmの測定フィールド径が標準ですが、精度を低下させることなくフィールドを任意に増加させることができます。

■高い測定精度

FLATSCANは高い測定精度を特長としています。測定システムの分解能は0.1 arcsecです。表面形状の再現性は100nmに達します。

■広い測定ダイナミックレンジ、作動距離

測定範囲は、最大測定高さ (または測定可能な最小曲率半径) まで、たった1回のスキャンで測定できます。FLATSCANは、フリンジ干渉法のような競合方式では達成できない、非常に大きな測定範囲をもつ特徴があります。従ってFLATSCANは、ゴーベルミラー、シリコンウェハーのような強い曲率を有する表面の測定に適しています。測定ヘッドは試料からの長い作動距離を確保しており、試料を損傷するおそれはありません。

■2D、3D測定 (オプション)

デバイスタイプに応じて、シングルラインスキャンまたは完全な3Dスキャンを実行できます。3Dスキャンは、自動的なサンプル位置決めから多数のシングルラインスキャンを行うものです。ソフトウェアは、3D表示、断面図、測定プロトコルなどの測定結果をグラフィカルに表示するための機能を備えています。

  • シリーズ

    平坦度・ボウ・ワープ・曲率・厚み 非接触光学自動計測装置 OEG FLATSCAN

企業レビュー 4.9

Metoree経由で見積もり

2025年9月16日にレビュー済み

顧客対応への満足度

早急な回答と確認事項、見積条件等安心して回答まで頂きました。

初回対応までの時間への満足度

0.06時間

Metoree経由で見積もり

2025年6月20日にレビュー済み

顧客対応への満足度

早急に対応して頂いて良かった。今後も利用したいと、おもった

初回対応までの時間への満足度

0.33時間

Metoree経由で見積もり

2024年12月13日にレビュー済み

顧客対応への満足度

当日返信、翌日に概算の見積もりをいただきました。

初回対応までの時間への満足度

13.76時間

Metoree経由で見積もり

2024年5月20日にレビュー済み

顧客対応への満足度

全体的に対応が迅速で、非常に好印象でした。

初回対応までの時間への満足度

0.65時間


この製品を共有する


130人以上が見ています

最新の閲覧: 2時間前


返答率: 100.0%

返答時間: 10.8時間


無料
見積もり費用は無料のため、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません


光学測定器注目ランキング

もっと見る

光学測定器の製品240点中、注目ランキング上位6点

電話番号不要

何社からも電話が来る心配はありません

一括見積もり

複数社に同じ内容の記入は不要です

返答率96%

96%以上の方が返答を受け取っています

光学測定器注目ランキング (対応の早い企業)

返答時間が24時間以内の企業の中での注目ランキング

電話番号不要

何社からも電話が来る心配はありません

一括見積もり

複数社に同じ内容の記入は不要です

返答率96%

96%以上の方が返答を受け取っています


平坦度・ボウ・ワープ・曲率・厚み 非接触光学自動計測装置 OEG FLATSCAN 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) 表面曲率再現性 (PV) 光学測定システムの分解能 光学測定システムの精度 測定速度 測定フィールド サンプル厚さ スキャン長に対する最小曲率半径および最大測定高さ 自由作動距離 測定波長 自動測定シーケンス

FLATSCAN

要見積もり

≦100nm

0.1 arcsec

1 arcsec

10mm~30mm /秒

標準 ø200mm* (より大きなフィールドも可能です)

制限なし

200mm R =18m, 290μm、300mm R =25m, 435μm、500mm R =43m, 725μm

制限なし

標準 670nm

可能

フィルターから探す

光学測定器をフィルターから探すことができます

使用用途

#表面検査 #厚み測定 #位置計測 #形状測定 #反射評価 #透過評価 #分光分析 #アライメント調整

測定原理

干渉法 反射法 透過法

機能

三次元測定 高速測定

波長範囲 nm

0 - 200 200 - 400 400 - 700 700 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 20,000

データ保存 件

50 - 200 200 - 1,000 1,000 - 10,000

この商品を見た方はこちらもチェックしています

光学測定器をもっと見る

この商品の取り扱い会社情報

返答率

100.0%


返答時間

10.8時間


企業レビュー

4.9

会社概要

入江株式会社は、東京都中央区に本社を置く、製造機械、製造消耗品、測定・検査機器などを販売する、科学技術専門の商社である。
基礎研究分野、大学、半導体エネルギー・液晶産業、二次電池・太陽電池などの新エネルギー、医療...

もっと見る

  • 本社所在地: 東京都
Copyright © 2025 Metoree