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シリーズ
半導体プロセス温度モニター NTM-DeLTA取扱企業
株式会社アイ・アール・システムカテゴリ
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商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) | 測定項目 | 測定温度範囲 | 温度精度 | 温度再現性 | 測定レート | インターフェース | 備考 |
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
NTM-DeLTA |
要見積もり |
ウエハ温度・ウエハ放射率 |
70℃~2,000℃ (アプリケーションによる) |
~500℃:±0.8℃、~2,000℃:±0.15%T |
±0.2℃ (typical) |
~400Hz (放射率測定あり) 、~3kHz (放射率測定なし) |
RS232C、アナログ、Ethernet |
RoHS対応製品 |