エキシマ光処理システムエキシマUVO3洗浄改質装置 6inch対応卓上モデル E172 -152-E172 -152

エキシマ光処理システムエキシマUVO3洗浄改質装置 6inch対応卓上モデル E172 -152
株式会社エキシマ

株式会社エキシマの対応状況

返答率

100.0%

返答時間

1.3時間

返信のとても早い企業

無料
見積もり費用は無料です、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

この製品について

｢濡れ性｣｢密着性｣｢均一性｣｢正常｣｢分解｣などの目的に波長172nmの紫外線による表面改質等の用途に貢献します。シンプルな製品と豊富な経験に基づく信頼性の高い製品をご提案いたします。

■用途例・電子顕微鏡サンプルの前処理
・サンプル試料や治具の洗浄
・サンプル表面の濡れ性、親水性、親和性改善
・接合面の密着性向上
・表面改質
・ウェハーやガラス面の洗浄後、残留有機物分解、洗浄
・ウェハーやガラス面表面の成膜や塗布前の均一性の向上

■特長・ワークサイズ 6” (152mm) 対応
・ステージ搬送エキシマUVスキャン照射方式
・プロセスパラメーター (照射速度、照射回数、照射距離) 
・オプションプロセスパラメーター (N2パージ、ヒーターステージ) 
・オゾン除害処理ユニット装備
・波長172nm XeエキシマUVランプ 光化学反応による常温短時間精密処理
・ユーティリティ、AC100V電源のみ
・扉インターロック装備
・省スペース卓上モデル
・水銀ランプ不使用

■シンプルな基本設計でプロセス高性能を実現。エキシマUV光源による光化学反応表面処理は光源特性により照射対象物の温度が上がりにくいのでフィルム素材など熱の影響を受けやすい対象物へ低温表面処理が可能です。また、光化学反応はプラズマのように物理的な表面処理と異なりワークへのダメージを与えにくい精密な処理を特長とします。

真空ポンプ不要、オゾン除害ユニット内蔵

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
エキシマ光処理システムエキシマUVO3洗浄改質装置 6inch対応卓上モデル E172 -152

取扱企業
株式会社エキシマ

カテゴリ

光源

UV照射器

この商品に関する問題を報告する

50人以上が見ています

返答率: 100.0%

返答時間: 1.3時間

無料
見積もり費用は無料のため、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

UV照射器注目ランキング

UV照射器の製品119点中、注目ランキング上位6点

UV硬化装置 HDRシリーズ高圧水銀ランプ

サンエナジー株式会社

350人以上が見ています

UV硬化装置 HDRシリーズメタルハライドランプ

サンエナジー株式会社

320人以上が見ています

高い乾燥性能と優れた環境性能を両立シール・ラベル印刷専用 LED-UV照射器 LEシリーズ

明和ゴム工業株式会社

290人以上が見ています

最新の閲覧: 2時間前

抗ウイルス・除菌用紫外線照射装置 Care222®i (アイ) シリーズ

株式会社千代田テクノル

5.0 企業レビュー

260人以上が見ています

最新の閲覧: 4時間前

循環方式空気紫外線清浄機 Smart Air

ブライトライト株式会社

240人以上が見ています

最新の閲覧: 2時間前

細かなご要望を集約シール・ラベル印刷ビジネスフォーム印刷 LAシリーズ

明和ゴム工業株式会社

230人以上が見ています

最新の閲覧: 4時間前

電話番号不要

何社からも電話が来る心配はありません

一括見積もり

複数社に同じ内容の記入は不要です

返答率96%

96%以上の方が返答を受け取っています

一括見積もりの使い方

UV照射器注目ランキング (対応の早い企業)

返答時間が24時間以内の企業の中での注目ランキング

UV硬化装置 HDRシリーズ高圧水銀ランプ

サンエナジー株式会社

350人以上が見ています

返答時間: 20.95時間

UV硬化装置 HDRシリーズメタルハライドランプ

サンエナジー株式会社

320人以上が見ています

返答時間: 20.95時間

高い乾燥性能と優れた環境性能を両立シール・ラベル印刷専用 LED-UV照射器 LEシリーズ

明和ゴム工業株式会社

290人以上が見ています

最新の閲覧: 2時間前

返答時間: 16.67時間

細かなご要望を集約シール・ラベル印刷ビジネスフォーム印刷 LAシリーズ

明和ゴム工業株式会社

230人以上が見ています

最新の閲覧: 4時間前

返答時間: 16.67時間

UV硬化装置 MDHシリーズ

サンエナジー株式会社

200人以上が見ています

最新の閲覧: 2時間前

返答時間: 20.95時間

流水型UV殺菌装置MSCシリーズ

サンエナジー株式会社

190人以上が見ています

返答時間: 20.95時間

電話番号不要

何社からも電話が来る心配はありません

一括見積もり

複数社に同じ内容の記入は不要です

返答率96%

96%以上の方が返答を受け取っています

一括見積もりの使い方

エキシマ光処理システムエキシマUVO3洗浄改質装置 6inch対応卓上モデル E172 -152 品番1件

商品画像	品番	価格 (税抜)	波長	対象ワークサイズ	初期照度	連続点灯運転	外形寸法	ユーティリティ	定期交換部品	定期点検
	E172 -152	要見積もり	172nm	6” (□152 mm)	20mW/cm2以上	10分以内 (軽量小型空冷設計のため)	195 (W) × 380 (D) x480 (H) mm※	電源AC100V 50/60Hz 2A	排気オゾン分解ユニット推奨1年もしくは適宜交換	高圧電源、ランプ光源等 1年もしくは適宜