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熱ナノインプリントリソグラフィー用熱可塑性プラスチック mr-I 7000E
株式会社オーエステック



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この製品について

■ナノインプリントリソグラフィー用マテリアル 熱およびUVベースのナノインプリントリソグラフィー用ポリマー

・熱可塑性プラスチック ・硬化ポリマー (熱硬化性) ・UV硬化ポリマー

■ナノインプリントポリマーの特徴

・優れた膜品質 ・各種基盤材のコーティング (例:Si、SiO2、AI) ・少なくとも50nmでの最少形状で実現可能 (モールド解像度に依存) ・高度なパターン転写忠実性 ・安全な溶剤

■パターン転写用

・非常に優れたインプリント特性 (高速ポリマーフローによる短サイクル時間・低インプリント圧・低残留層厚) ・ノボラックベースのフォトレジストに匹敵する高プラズマエッチ抵抗

■用途

・パターン転写プロセス用エッチマスク ・以下に対するナノパターンの生成:大量データ保存、ナノ光デバイス、サブ波長光エレメント、光子クリスタル、マイクロディスプレイ、LED

  • シリーズ

    熱ナノインプリントリソグラフィー用熱可塑性プラスチック mr-I 7000E

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熱ナノインプリントリソグラフィー用熱可塑性プラスチック mr-I 7000E 品番1件

商品画像 品番 価格 (税抜) ガラス転移温度 Tg インプリント温度 インプリント圧力 賦形剤

mr-I 7000E

要見積もり

60℃

125 - 150℃

20 - 50 bar

ma-T 1050

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

株式会社オーエステックは、商社です。 1992年に設立、大阪に本社をおく電子部品の製造に使用する材料を取り扱う専門商社です。主な事業内容としては、半導体に関する材料やスマートフォンやPC、冷蔵庫やエアコンなどに使用され...

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  • 本社所在地: 大阪府
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