高純度MOCVD用AlNサセプター
株式会社オーエステック

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この製品について

■特徴シリコンにマッチングした熱膨張係数を有し、熱伝導・熱放射率が大きく、均熱性が高いサセプターです。材質は、高純度品FAN-090 (99.9%) であり、 耐プラズマ性及びフッ素系ガスの耐食性に優れています。大型サイズの作製が可能です。 (最大サイズ：直径465mm) 

型番
この商品には1種類の型番があります

シリーズ
高純度MOCVD用AlNサセプター

取扱企業
株式会社オーエステック

カテゴリ

加工・工作機器

加熱装置

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高純度MOCVD用AlNサセプター品番1件

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	高純度MOCVD用AlNサセプター	要見積もり

フィルターから探す

加熱装置をフィルターから探すことができます

最高温度 ℃

0 - 300 300 - 500 500 - 800 800 - 1,000 1,000 - 1,100 1,100 - 1,200 1,200 - 1,400 1,400 - 1,500 1,500 - 1,600 1,600 - 1,700

加熱電力 kW

0 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 10 10 - 20 30 - 100 100 - 300

電源電圧 V

AC100V AC110V AC200V AC220V AC230V AC240V AC380V

温度制御方式

定温制御プログラム出力・温調制御 PID制御プログラマブルコントローラ入力電力一定制御 ON/OFF制御液膨式サーモスタット

温度制御精度 ℃

0 - 0.5 0.5 - 1 1 - 2 2 - 10

加熱方式

ホットエアージャケット方式セラミックヒーティング発熱部分拡大タイプ

冷却方式

氣冷式水冷式強制空冷

安全装置

過電流ヒューズ過熱警報過熱保護過昇温防止遮断器センサー異常検知温度上限警報機能漏電ブレーカーインターロック

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株式会社オーエステック

会社概要

株式会社オーエステックは、商社です。 1992年に設立、大阪に本社をおく電子部品の製造に使用する材料を取り扱う専門商社です。主な事業内容としては、半導体に関する材料やスマートフォンやPC、冷蔵庫やエアコンなどに使用され...

本社所在地: 大阪府

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