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高純度MOCVD用AlNサセプター
株式会社オーエステック

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この製品について

■特徴

シリコンにマッチングした熱膨張係数を有し、熱伝導・熱放射率が大きく、均熱性が高いサセプターです。材質は、高純度品FAN-090 (99.9%) であり、 耐プラズマ性及びフッ素系ガスの耐食性に優れています。大型サイズの作製が可能です。 (最大サイズ：直径465mm)

  • シリーズ

    高純度MOCVD用AlNサセプター

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会社概要

株式会社オーエステックは、商社です。 1992年に設立、大阪に本社をおく電子部品の製造に使用する材料を取り扱う専門商社です。主な事業内容としては、半導体に関する材料やスマートフォンやPC、冷蔵庫やエアコンなどに使用され...

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  • 本社所在地: 大阪府

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