高純度MOCVD用AlNサセプター
株式会社オーエステック
この製品について
■特徴
シリコンにマッチングした熱膨張係数を有し、熱伝導・熱放射率が大きく、均熱性が高いサセプターです。材質は、高純度品FAN-090 (99.9%) であり、 耐プラズマ性及びフッ素系ガスの耐食性に優れています。大型サイズの作製が可能です。 (最大サイズ：直径465mm)-
シリーズ
高純度MOCVD用AlNサセプター
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取扱企業
株式会社オーエステック
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高純度MOCVD用AlNサセプター 品番1件
| 商品画像 | 品番 | 価格 (税抜) |
|---|---|---|
高純度MOCVD用AlNサセプター |
要見積もり |
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