静電気除去デバイスバータイプイオナイザー ION BLADE B1 Series-B1

静電気除去デバイスバータイプイオナイザー ION BLADE B1 Series
フィーサ株式会社

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この製品について

■コンプレッサーの電気代や針のクリーニングの手間、半導体へのダメージ等従来のイオナイザーが抱える課題を解決針が無いバータイプであり、圧倒的な小型化により従来不可能だった狭小スペースにも設置可能です。高濃度イオンをエアーレスで照射し、高速除電とコンプレッサーの電気代削減に貢献します。針先の電界集中による汚れがなく、メンテナンスフリーでパーティクル落下対策に効果的です。

近接設置でも電位振幅が少なく、半導体や微細な電子デバイスの製造工程に最適です。ION BLADE B1はあらゆる課題解決に貢献することを約束します。

■ESD破壊を防止 一般的なイオナイザーでは、除電性能を上げるために近接設置を希望されましたが、電位振幅によるESD破壊の恐れがあり、設置距離を300mm程度はなしてご使用いただかなけらばならないというジレンマがありました。ION BLADE B1は5mmの設置距離でも電位振幅が抑えられる新しいイオナイザーです。

ジレンマだった高い除電性能と近接によるESD破壊の回避を両立できる唯一のイオナイザーと考えております。

■特徴・下から除電：最低5.0mm
・光速除電：0.3sec
・本体長さ：1,580mm～340mm
・電位振幅：±5V