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既存の洗浄槽へ柔軟かつ経済的に後付け可能なメガソニック洗浄装置です。振動子は以下の周波数帯で提供可能です： - 400 kHz / 600 kHz - 1 MHz / 2 MHz 製品の特徴 - 設置場所：既存のタンクの底部や側面に取り付け可能 - 材質：ステンレスまたはPVDF・PFAなどのプラスチックで密封処理済み - 対応サイズ：標準で4インチ・6インチ・8インチ基板に対応し、カスタム設計も可能 - 優れた清浄性能：均一な音響エネルギー伝達により、これまでにない洗浄効果を実現 - 構造保護：微細・ナノ構造を傷めず洗浄可能 - 特許申請中のピエゾセラミック：従来品に比べて約40%の音圧増加、最大30%の効率向上 用途例 - 半導体ウェーハやフォトマスク、MEMSなど微細部品の洗浄（最大200mm） - LIGA技術におけるフォトレジストの除去やエッチング工程への応用
型番
6インチ基板用ジェネレーター (ステンレス製)取扱企業
ティックコーポレーション株式会社カテゴリ
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