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メガソニックノズルに内蔵された振動子がメガソニック波を生成し、純水（DI水）などの流体を通して基板表面へ伝達します。メガソニックエネルギーは直径2mmまたは4mmの小さな範囲に集中するため、ピンポイントで効率的な洗浄が可能です。 ※写真はシングルタイプとなります。
型番
超音波メガソニック洗浄スプレーノズルシリーズ
超音波メガソニック洗浄装置（枚葉洗浄）取扱企業
ティックコーポレーション株式会社カテゴリ
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株式会社柳生商会
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