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排気ポンプ
DRP×1
設置寸法
本体:W1,340mm×D1,945mm×H1,870mm
重量
1,100Kg
電源容量
AC200~220V (3φ) /50/60Hz/14.3kVA
装置構成
搬送ロボットを搭載した搬送エリアとアッシング室で構成 真空槽材質は、脱脂処理を施したA5052製を採用
排気系
ドライポンプ1式
到達圧力
1Pa以下
排気時間
10Paまで18秒以内
アッシング分布
±10%以内
サイクルタイム
45sec (18枚/カセット、φ4インチ基板) ※参考値
RF電源
MAX1,000W (13.56MHz)
マッチングボックス
オートマッチング仕様
ガス導入系
O2ガス用 マスフローコントローラー 1式
制御系
シーケンサーの使用により、全自動操作が可能 基板処理枚数はタッチパネル上に常時表示し、 エラー履歴を確認可能 レシピ管理、ログ取得を付属のパソコンにて行います
冷却水
20~25℃ 0.36m3/hr (6L/min)
圧空
0.5MPa 20L/min
O2ガス
0.05MPa プロセス用
N2ガス
0.3MPa 60L/min
アース
A種アース
型番
SPE-2136Aシリーズ
プラズマクリーナー SPE-2136A取扱企業
株式会社昭和真空カテゴリ
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商品画像 | 価格 (税抜) | 排気ポンプ | 設置寸法 | 重量 | 電源容量 | 装置構成 | 排気系 | 到達圧力 | 排気時間 | アッシング分布 | サイクルタイム | RF電源 | マッチングボックス | ガス導入系 | 制御系 | 冷却水 | 圧空 | O2ガス | N2ガス | アース |
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要見積もり | DRP×1 | 本体:W1,340mm×D1,945mm×H1,870mm | 1,100Kg | AC200~220V (3φ) /50/60Hz/14.3kVA | 搬送ロボットを搭載した搬送エリアとアッシング室で構成 真空槽材質は、脱脂処理を施したA5052製を採用 | ドライポンプ1式 | 1Pa以下 | 10Paまで18秒以内 | ±10%以内 | 45sec (18枚/カセット、φ4インチ基板) ※参考値 | MAX1,000W (13.56MHz) | オートマッチング仕様 | O2ガス用 マスフローコントローラー 1式 |
シーケンサーの使用により、全自動操作が可能 基板処理枚数はタッチパネル上に常時表示し、 エラー履歴を確認可能 レシピ管理、ログ取得を付属のパソコンにて行います |
20~25℃ 0.36m3/hr (6L/min) | 0.5MPa 20L/min | 0.05MPa プロセス用 | 0.3MPa 60L/min | A種アース |
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