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返答率
100.0%
返答時間
7.2時間
MAXスピード
30mm/sec
ステージ材質
アルミ
センサ品番
マイクロフォトセンサ PM-L25 (SUNX ( (株) ) リミット、原点センサ
テーブル面サイズ
80×80mm
バックラッシ
1μm
ピッチング
20"
モーメント剛性 ピッチング
0.05"/N.cm
モーメント剛性 ヨーイング
0.05"/N.cm
モーメント剛性 ローリング
0.1"/N.cm
ヨーイング
15"
リミットセンサ
有 (NORMAL CLOSE)
ロストモーション
4μm
位置決め精度
15μm
移動ガイド
リニアガイド
移動量
100mm
近接原点センサ
無
繰返し位置決め精度
±1μm
原点センサ
有 (NORMAL OPEN)
最小応答分解能 参考
0.1μm
質量
2.2kg
走り平行度
10μm
送りネジ
・ボールネジ径φ8mm ・リード2mm
耐荷重
147N (15.0kgf)
表面処理
黒アルマイト
分解能 Full
4μm/パルス
分解能 Half
2μm/パルス
平行度
50μm
型番
KLSA-100X-0B取扱企業
シグマ光機株式会社カテゴリ
| 商品画像 | 価格 (税抜) | MAXスピード | ステージ材質 | センサ品番 | テーブル面サイズ | バックラッシ | ピッチング | モーメント剛性 ピッチング | モーメント剛性 ヨーイング | モーメント剛性 ローリング | ヨーイング | リミットセンサ | ロストモーション | 位置決め精度 | 移動ガイド | 移動量 | 近接原点センサ | 繰返し位置決め精度 | 原点センサ | 最小応答分解能 参考 | 質量 | 走り平行度 | 送りネジ | 耐荷重 | 表面処理 | 分解能 Full | 分解能 Half | 平行度 |
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要見積もり | 30mm/sec | アルミ | マイクロフォトセンサ PM-L25 (SUNX ( (株) ) リミット、原点センサ | 80×80mm | 1μm | 20" | 0.05"/N.cm | 0.05"/N.cm | 0.1"/N.cm | 15" | 有 (NORMAL CLOSE) | 4μm | 15μm | リニアガイド | 100mm | 無 | ±1μm | 有 (NORMAL OPEN) | 0.1μm | 2.2kg | 10μm |
・ボールネジ径φ8mm ・リード2mm |
147N (15.0kgf) | 黒アルマイト | 4μm/パルス | 2μm/パルス | 50μm |
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使用用途
#半導体検査 #精密計測 #光学調整 #レーザー加工 #ナノ計測 #バイオ実験 #位置決め制御 #研究開発駆動方式
ボールねじ駆動型 リニアモータ駆動型 ベルト駆動型 ピエゾ駆動型案内方式
LMガイド型 クロスローラガイド型 空気静圧ガイド型制御方式
オープンループ型 クローズドループ型移動範囲 mm
0 - 1 1 - 10 10 - 50 50 - 250 250 - 1,000 1,000 - 1,500可搬質量 kg
0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 800分解能 μm
0 - 0.01 0.01 - 0.1 0.1 - 1 1 - 10繰り返し位置決め精度 μm
0 - 1 1 - 2 2 - 4真直度と平坦度 μm
0 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 4 4 - 5 5 - 10 10 - 30 30 - 31最大速度 mm/秒
0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 30 30 - 40 40 - 250 250 - 251
