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返答率
100.0%
返答時間
7.2時間
MAXスピード
10mm/sec
ステージ材質
アルミ
センサ品番
マイクロフォトセンサ GP1S097HCZ (シャープ (株) )
テーブル面サイズ
100×80mm
バックラッシ
2μm
ピッチング
30"
モーメント剛性 ピッチング
0.5"/N.cm
モーメント剛性 ヨーイング
0.5"/N.cm
モーメント剛性 ローリング
0.2"/N.cm
ヨーイング
25"
リミットセンサ
有 (NORMAL CLOSE)
ロストモーション
2μm
位置決め精度
25μm
移動ガイド
ボールガイド
移動量
50mm
近接原点センサ
無
繰返し位置決め精度
±2μm
原点センサ
有 (NORMAL OPEN)
最小応答分解能 参考
0.1μm
質量
1.0kg
走り平行度
10μm
送りネジ
・ボールネジ径φ6mm ・リード1mm
耐荷重
73.5N (7.5kgf)
表面処理
黒アルマイト
分解能 Full
2μm/パルス
分解能 Half
1μm/パルス
平行度
40μm
センサ 出力論理
・遮光時 出力トランジスタOFF (非導通) リミットセンサ ・遮光時 出力トランジスタON (導通) 原点センサ
センサ 消費電力
60mA以下 (1センサあたり20mA以下)
センサ 制御出力
・NPNオープンコレクタ出力 ・DC30V以下50mA以下 ・残留電圧0.4V以下 (負荷電流16mA時) ・残留電圧0.7V以下 (負荷電流50mA時)
型番
HPS80-50X-M5取扱企業
シグマ光機株式会社カテゴリ
| 商品画像 | 価格 (税抜) | MAXスピード | ステージ材質 | センサ品番 | テーブル面サイズ | バックラッシ | ピッチング | モーメント剛性 ピッチング | モーメント剛性 ヨーイング | モーメント剛性 ローリング | ヨーイング | リミットセンサ | ロストモーション | 位置決め精度 | 移動ガイド | 移動量 | 近接原点センサ | 繰返し位置決め精度 | 原点センサ | 最小応答分解能 参考 | 質量 | 走り平行度 | 送りネジ | 耐荷重 | 表面処理 | 分解能 Full | 分解能 Half | 平行度 | センサ 出力論理 | センサ 消費電力 | センサ 制御出力 |
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要見積もり | 10mm/sec | アルミ | マイクロフォトセンサ GP1S097HCZ (シャープ (株) ) | 100×80mm | 2μm | 30" | 0.5"/N.cm | 0.5"/N.cm | 0.2"/N.cm | 25" | 有 (NORMAL CLOSE) | 2μm | 25μm | ボールガイド | 50mm | 無 | ±2μm | 有 (NORMAL OPEN) | 0.1μm | 1.0kg | 10μm |
・ボールネジ径φ6mm ・リード1mm |
73.5N (7.5kgf) | 黒アルマイト | 2μm/パルス | 1μm/パルス | 40μm |
・遮光時 出力トランジスタOFF (非導通) リミットセンサ ・遮光時 出力トランジスタON (導通) 原点センサ |
60mA以下 (1センサあたり20mA以下) |
・NPNオープンコレクタ出力 ・DC30V以下50mA以下 ・残留電圧0.4V以下 (負荷電流16mA時) ・残留電圧0.7V以下 (負荷電流50mA時) |
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使用用途
#半導体検査 #精密計測 #光学調整 #レーザー加工 #ナノ計測 #バイオ実験 #位置決め制御 #研究開発駆動方式
ボールねじ駆動型 リニアモータ駆動型 ベルト駆動型 ピエゾ駆動型案内方式
LMガイド型 クロスローラガイド型 空気静圧ガイド型制御方式
オープンループ型 クローズドループ型移動範囲 mm
0 - 1 1 - 10 10 - 50 50 - 250 250 - 1,000 1,000 - 1,500可搬質量 kg
0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 800分解能 μm
0 - 0.01 0.01 - 0.1 0.1 - 1 1 - 10繰り返し位置決め精度 μm
0 - 1 1 - 2 2 - 4真直度と平坦度 μm
0 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 4 4 - 5 5 - 10 10 - 30 30 - 31最大速度 mm/秒
0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 30 30 - 40 40 - 250 250 - 251
