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返答率
100.0%
返答時間
7.2時間
移動量
85mm
テーブル面サイズ
85×85mm
送りネジ
・ボールネジ径φ6mm ・リード1mm
移動ガイド
アウターレール構造
ステージ上面材質
アルミ
表面処理
黒アルマイト
質量
1.3kg
分解能 Full
2μm/パルス
分解能 Half
1μm/パルス
MAXスピード
25mm/sec
位置決め精度
10μm
繰返し位置決め精度
3μm
最小応答分解能 参考
0.2μm
耐荷重
78.4N (8.0kgf)
モーメント剛性 ピッチング
0.4"/N.cm
モーメント剛性 ヨーイング
0.25"/N.cm
モーメント剛性 ローリング
0.35"/N.cm
ロストモーション
3μm
バックラッシ
3μm
平行度
30μm
走り平行度
10μm
ピッチング
30"
ヨーイング
20"
センサ品番
マイクロフォトセンサ GP1S092HCPIF (シャープ (株) )
リミットセンサ
有 (NORMAL CLOSE)
原点センサ
有 (NORMAL OPEN)
近接原点センサ
有 (NORMAL OPEN)
モータ タイプ
5相ステッピングモータ 0.75A/相 (多摩川精機 (株) )
モータ 品番
TS3664N4E10 (□24mm)
モータ ステップ角
0.72°
型番
OSMS20-85 (X)取扱企業
シグマ光機株式会社カテゴリ
| 商品画像 | 価格 (税抜) | 移動量 | テーブル面サイズ | 送りネジ | 移動ガイド | ステージ上面材質 | 表面処理 | 質量 | 分解能 Full | 分解能 Half | MAXスピード | 位置決め精度 | 繰返し位置決め精度 | 最小応答分解能 参考 | 耐荷重 | モーメント剛性 ピッチング | モーメント剛性 ヨーイング | モーメント剛性 ローリング | ロストモーション | バックラッシ | 平行度 | 走り平行度 | ピッチング | ヨーイング | センサ品番 | リミットセンサ | 原点センサ | 近接原点センサ | モータ タイプ | モータ 品番 | モータ ステップ角 |
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要見積もり | 85mm | 85×85mm |
・ボールネジ径φ6mm ・リード1mm |
アウターレール構造 | アルミ | 黒アルマイト | 1.3kg | 2μm/パルス | 1μm/パルス | 25mm/sec | 10μm | 3μm | 0.2μm | 78.4N (8.0kgf) | 0.4"/N.cm | 0.25"/N.cm | 0.35"/N.cm | 3μm | 3μm | 30μm | 10μm | 30" | 20" | マイクロフォトセンサ GP1S092HCPIF (シャープ (株) ) | 有 (NORMAL CLOSE) | 有 (NORMAL OPEN) | 有 (NORMAL OPEN) | 5相ステッピングモータ 0.75A/相 (多摩川精機 (株) ) | TS3664N4E10 (□24mm) | 0.72° |
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使用用途
#半導体検査 #精密計測 #光学調整 #レーザー加工 #ナノ計測 #バイオ実験 #位置決め制御 #研究開発駆動方式
ボールねじ駆動型 リニアモータ駆動型 ベルト駆動型 ピエゾ駆動型案内方式
LMガイド型 クロスローラガイド型 空気静圧ガイド型制御方式
オープンループ型 クローズドループ型移動範囲 mm
0 - 1 1 - 10 10 - 50 50 - 250 250 - 1,000 1,000 - 1,500可搬質量 kg
0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 800分解能 μm
0 - 0.01 0.01 - 0.1 0.1 - 1 1 - 10繰り返し位置決め精度 μm
0 - 1 1 - 2 2 - 4真直度と平坦度 μm
0 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 4 4 - 5 5 - 10 10 - 30 30 - 31最大速度 mm/秒
0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 30 30 - 40 40 - 250 250 - 251
