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測定方式
マイケルソン干渉方式
光源
1.3μ
精度
±1μ (シリコンウエハー)
分解能
1μ以下
ビーム径
φ1mm (集光光学系)
サンプル厚
標準10mm (オプション15mm) (bkー7)
測定時間
Min 40msec (積算回数により測定時間は異なります)
本体寸法
150×125×180 (mm) (奥行X幅X高さ)
信号処理系
290×330×140 (mm) (奥行X幅X高さ)
型番
Teth-101取扱企業
ファイブラボ株式会社カテゴリ
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厚み測定器の製品113点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 測定方式 | 光源 | 精度 | 分解能 | ビーム径 | サンプル厚 | 測定時間 | 本体寸法 | 信号処理系 |
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要見積もり | マイケルソン干渉方式 | 1.3μ | ±1μ (シリコンウエハー) | 1μ以下 | φ1mm (集光光学系) | 標準10mm (オプション15mm) (bkー7) | Min 40msec (積算回数により測定時間は異なります) | 150×125×180 (mm) (奥行X幅X高さ) | 290×330×140 (mm) (奥行X幅X高さ) |
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測定範囲 mm
0 - 1 1 - 10 10 - 100 100 - 500 500 - 1,000分解能 秒
0 - 0.01 0.01 - 0.1 0.1 - 1 1 - 10 10 - 10,000測定精度 mm
0 - 0.01 0.01 - 0.1 0.1 - 1繰り返し精度 μm
0 - 0.1 0.1 - 1 1 - 5 5 - 10重量 kg
0 - 1 1 - 10 10 - 500 500 - 1,000
