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恒温・冷却装置 サーモエレクトリックチラー ThermoRack 1201/1801/2801-エムエス機器株式会社

全型番で同じ値の指標

設定温度範囲

-10℃~80℃

冷却能力@20℃ (冷却水 8L/min 20 ℃)

1,340W (FC-3283 26L/min)

加熱能力@20℃ (冷却水 8L/min 20 ℃)

2,000W (FC-3283 26L/min)

環境温度

10℃~40℃

温度安定性

±0.05℃ 無負荷又は負荷一定時 室温付近

冷却方式

水冷方式

循環液

Glycol/water,Opteon/or HFE fluids,100%EG

循環液接続口

1/2” スウェジロック

冷却水

4-8Lpm@10-35℃ (PH6.5-8.2)

冷却水接続口

1/2” スウェジロック

ポンプ

マグネットカップリングポンプ 14Lpm@0.21MPa (フッ素系液使用時)

タンク容量

5.7L 2段式 レベルセンサー

接液部材質

アルミニウム、ステンレススチール、ポリマー

N2/CDA (オプション)

500sccm、0.2MPa以上 ポート:1/4インチOD John Guest Speed-fit フィッティング

外寸法 (WxDxH) mm

483x610x221 5U (EIA-310-D規格)

質量

31kg

電源

200-240VAC 1P 50/60Hz 10A max

通信インターフェィス

Lam analog. AMAT CHX, AMAT Analog,TEL UnityⅡ

警報

温度、水位、システムエラー (ディスプレイ表示、ドライコンタクト出力、インターフェース出力)

この製品について

■恒温・冷却装置

温度安定性の高い液体を熱媒体とし、-25℃の低温域から+200℃の高温域までを制御します。バス専用タイプ、循環専用タイプおよび兼用タイプを取り揃え、さらに研究レベルから工業レベルまで、豊富なモデルをラインナップしています。

■ThermoRack 1201/1801/2801

ThermoRack 1201/1801/2801は半導体製造工程のプラズマエッチングにおける温度制御チラーとして最適にデザインされています。 ペルチェモジュールによる熱電原理に基づいた温度制御方式で、素早い温度応答性と高い温度安定性で冷却/加熱を制御します。±0.05℃の温度安定性でウエハー間、ロット間のバラつきを改善します。 (First wafer effectの削減) また消費電力も従来のチラーに比べ、最大93 %削減できます。 駆動部はポンプと冷却ファンの2つだけなので、従来のチラーと比べて騒音、振動を低減して、故障によるシステムダウンも抑えられます。19インチラックマウントタイプのコンパクトなデザインでクリーンルームの省スペース化ができます。

  • 型番

    ThermoRack 1201

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恒温・冷却装置 サーモエレクトリックチラー ThermoRack 1201/1801/2801 ThermoRack 1201の性能表

商品画像 価格 (税抜) 設定温度範囲 冷却能力@20℃ (冷却水 8L/min 20 ℃) 加熱能力@20℃ (冷却水 8L/min 20 ℃) 環境温度 温度安定性 冷却方式 循環液 循環液接続口 冷却水 冷却水接続口 ポンプ タンク容量 接液部材質 N2/CDA (オプション) 外寸法 (WxDxH) mm 質量 電源 通信インターフェィス 警報 規格
恒温・冷却装置 サーモエレクトリックチラー ThermoRack 1201/1801/2801-品番-ThermoRack 1201 要見積もり -10℃~80℃ 1,340W (FC-3283 26L/min) 2,000W (FC-3283 26L/min) 10℃~40℃ ±0.05℃ 無負荷又は負荷一定時 室温付近 水冷方式 Glycol/water,Opteon/or HFE fluids,100%EG 1/2” スウェジロック 4-8Lpm@10-35℃ (PH6.5-8.2) 1/2” スウェジロック マグネットカップリングポンプ 14Lpm@0.21MPa (フッ素系液使用時) 5.7L 2段式 レベルセンサー アルミニウム、ステンレススチール、ポリマー 500sccm、0.2MPa以上 ポート:1/4インチOD John Guest Speed-fit フィッティング 483x610x221 5U (EIA-310-D規格) 31kg 200-240VAC 1P 50/60Hz 10A max Lam analog. AMAT CHX, AMAT Analog,TEL UnityⅡ 温度、水位、システムエラー
(ディスプレイ表示、ドライコンタクト出力、インターフェース出力)

Semi S2, F47compliant, CE


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使用用途

#空調設備 #工場設備 #半導体製造 #医療機器冷却 #食品製造 #飲料製造 #プラスチック成形 #印刷機冷却 #精密機器冷却 #データセンター #エネルギー設備 #研究施設

冷却方式

空冷式 水冷式

圧縮機構造

スクロール型 スクリュー型 ターボ型

冷媒種別

HFC冷媒型 HFO冷媒型 アンモニア冷媒型 CO2冷媒型

設置形態

パッケージ型 分離型

冷却能力 kW

0 - 10 10 - 30 30 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300

圧縮機出力 kW

0 - 5 5 - 15 15 - 30 30 - 50 50 - 100

使用周囲温度範囲 ℃

-10 - 0 0 - 30 30 - 40 40 - 50

電源

三相 単相

温度制御精度 ℃

0.05 - 0.1 0.1 - 1 1 - 2

循環水流量 L/min

10 - 50 50 - 100

製品質量 kg

80 - 100 100 - 150 150 - 200

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

エムエス機器株式会社は、ラフサイエンス分野の最先端の研究機器を取り扱う輸入商社です。 1966年創業、大阪府大阪市に本社を置く他、東京都新宿区に東日本営業所があります。 バイオテクノロジーを始めとするライフサイエンス分野...

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  • 本社所在地: 大阪府

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