GW35 | 半導体産業用圧力計 GW35
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測定流体

各種プロセスガス

形状

埋込形：D枠 (中心裏ねじ、ステム)

大きさ

φ35 (モデル：GW35) 、φ40 (モデル：GW45)

接続ねじ

9/16-18UNF

材質

ブルドン管・接続部：SUS316L、ケース：SUS304 (生地) 、内機：SUS製

ケース構造

屋内一般形

溶接方法

アルゴンアーク溶接

圧力レンジ

0~0.4MPa→0~3.5MPa、-0.1~0.3MPa→-0.1~2MPa

使用温度範囲

-5~45℃

精度

±3%F.S.

気密性 (He真空法)

1.01×10^-9Pa・㎥/s以下

清浄度

EPグレード：0.2μm以上のパーティクル10個以下、BAグレード：クラスⅵ (ANSI B40. 1M-1979)

質量

φ35：約75g、φ40：約90g

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この製品について

■半導体ガス集積化プロセス向け半導体高純度ガス、及び腐食性ガスの雰囲気等の条件下でも優れた性能を発揮します。気密性・洗浄度に対しても充分考慮して製作されており、半導体プロセス等、特に高純度流体向けに適した圧力計です。

■特長・ブルドン管・接続部・ケース・内機等主要部品がステンレス製ですので、測定体はもちろん、雰囲気に対しても耐食性に優れています。
・接ガス部の溶接は、アルゴンアーク溶接を行い、さらに耐圧・気密検査の実施など、厳重な品質管理の下で製作しております。
・圧力計を選定される際は、性能を十分発揮できるよう、常用圧力の上限が以下の範囲となるように圧力レンジを選定してください。定圧力の場合：圧力レンジの最大値の3/4以下、変動圧力の場合：圧力レンジの最大値の2/3以下
・また記載の接ガス部材質が測定流体に適合したものであることをご確認ください。詳しくは、JIS B 7505-1をご覧ください。

型番
GW35

シリーズ
半導体産業用圧力計 GW35

取扱企業
長野計器株式会社

カテゴリ

メーター・計測機器

圧力計

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半導体産業用圧力計 GW35 GW35の性能表

商品画像	価格 (税抜)	測定流体	形状	大きさ	接続ねじ	材質	ケース構造	溶接方法	圧力レンジ	使用温度範囲	精度	気密性 (He真空法)	清浄度	質量
	要見積もり	各種プロセスガス	埋込形：D枠 (中心裏ねじ、ステム)	φ35 (モデル：GW35) 、φ40 (モデル：GW45)	9/16-18UNF	ブルドン管・接続部：SUS316L、ケース：SUS304 (生地) 、内機：SUS製	屋内一般形	アルゴンアーク溶接	0~0.4MPa→0~3.5MPa、-0.1~0.3MPa→-0.1~2MPa	-5~45℃	±3%F.S.	1.01×10^-9Pa・㎥/s以下	EPグレード：0.2μm以上のパーティクル10個以下、BAグレード：クラスⅵ (ANSI B40. 1M-1979)	φ35：約75g、φ40：約90g