PGF-2-02VR・PC07 | インラインセラミックガスフィルター
株式会社ピー･ジェイ

全型番で同じ値の指標

濾過精度

0.003µm (但し、純水濾過時は0.1µm)

推奨流量

10~200ℓ/min (各モデル別：流量特性曲線参照)

設計圧力

17MPa (2,465PSIG) at20℃

常用圧力

1MPa (145PSIG) 未満

最大許容差圧

9.6MPa (1,392PSIG) at20℃

最高連続使用温度

120℃

ベーキング温度

200℃

外部漏量

2x10^11Pa・m3/sec (He) 以下 (or less)

構成部材

ハウジング：SUS316L 内面粗度：Rmax0.7μm以下エレメント：アルミナセラミックス (Al2O3) シール：PTFE

継手

1/4"、3/8"、1/2" ガスケットシール (Gasket seal) 、コンプレッション (Compression) 、その他 (and others)

外形寸法 H (mm)

130.0

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この製品について

■高濾過精度サブミクロンLS｜製造プロセスにおいては、原料ガスを高純度のままユースポイントまで供給することが不可欠です。そのためには、原料ガスの高純度化はもとより、配管系のウルトラクリーン化が大きなポイントでした。ピュアロンジャパンでは、こうした時代の要求にお応えするために、エレメント部にセラミックを使用した、まったく新しいフィルタを開発。その結果、常に安定した状態で0.003μmという高濾過精度を可能にしました。

■エッチングや薄膜形成時に不可欠な高選択性高選択性の追及にとって、極めて重要なポイントになるのが、水や酸素といった不純物の除去の問題です。この不純物の除去を確実に行っためには、何よりも高温状態でのベーキンクが不可欠です。そうした観点から開発されたセラミックフィルタでは、200℃の高温ベーキングが行えます。

■メンテナンス・フリーによるコストダウンパーティクル粒径の大きさにより段階的に濾過できる三層構造のため目詰まりが殆どなく、また耐久性/耐熱性に優れた特徴を持つセラミックフィルタは、従来のフィルタに比べ、使用時のトラブルもありません。従って、生産ラインの一時停止による経済的損失もなく、長期間に渡ってコストの低減化が図れます。

本製品は、全品14.7MPaの耐圧試験後出荷しております。但し、日本国内における高圧ガス保安法に準拠し、最高使用圧力の表記及び使用は1MPa未満となります。

型番
PGF-2-02VR・PC07

シリーズ
インラインセラミックガスフィルター

取扱企業
株式会社ピー･ジェイ

カテゴリ

フィルタ

ベントフィルタ

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ガスフィルター

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インラインセラミックガスフィルター PGF-2-02VR・PC07の性能表

商品画像	価格 (税抜)	濾過精度	推奨流量	設計圧力	常用圧力	最大許容差圧	最高連続使用温度	ベーキング温度	外部漏量	構成部材	継手	外形寸法 H (mm)
	要見積もり	0.003µm (但し、純水濾過時は0.1µm)	10~200ℓ/min (各モデル別：流量特性曲線参照)	17MPa (2,465PSIG) at20℃	1MPa (145PSIG) 未満	9.6MPa (1,392PSIG) at20℃	120℃	200℃	2x10^11Pa・m3/sec (He) 以下 (or less)	ハウジング：SUS316L 内面粗度：Rmax0.7μm以下エレメント：アルミナセラミックス (Al2O3) シール：PTFE	1/4"、3/8"、1/2" ガスケットシール (Gasket seal) 、コンプレッション (Compression) 、その他 (and others)	130.0