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トラパックをさらに進化させ、エレメントにうずタイプを装備した気体の粉体除去装置 トラパック うずタイプ TU-50LM /LMJ-大成技研株式会社

全型番で同じ値の指標

主要用途

エッチング・CVD

エレメント形式

ASD-50 うず

接続口径

NW40、NW50

サイズ

370mm×H707mm

重量

53kg / 68kg

この製品について

気体の粉体除去装置「トラパック」は、エレメントタイプ、うずタイプ、コンビネーションタイプをラインアップしています。また、「トラパック」を最適に収納する「トラパックキャビネット」も取り揃えておりますので、お客様のニーズに合わせて、お選びいただけます。

■うずタイプ

うず構造物 (うず加工板) の中に装着されております。排ガス中の反応生成物は中央に向かう、うず旋回流の中で衝突をくりかえし吸着捕集する「うずエレメント」を採用しています。 特徴

■圧損ゼロ

うず構造体のため、粉体は長期間圧力損失を受けない

■高性能

うず数やうずピッチの組合せによりほぼ粉体をシャットアウトする

■超大量捕集

粉体は装着されているうずエレメント表面に積層していく

■仕様

・一次エレメント /うずエレメント ・二次エレメント / 無 ・取付位置 / 真空、排気

  • 型番

    TU-50LM /LMJ

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トラパックをさらに進化させ、エレメントにうずタイプを装備した気体の粉体除去装置 トラパック うずタイプ TU-50LM /LMJ TU-50LM /LMJの性能表

商品画像 価格 (税抜) 主要用途 エレメント形式 接続口径 サイズ 重量
トラパックをさらに進化させ、エレメントにうずタイプを装備した気体の粉体除去装置 トラパック うずタイプ TU-50LM /LMJ-品番-TU-50LM /LMJ 要見積もり エッチング・CVD ASD-50 うず NW40、NW50 370mm×H707mm 53kg / 68kg

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