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卓上真空装置-株式会社シィアイテクノ

¥3,500,000 税抜

全型番で同じ値の指標

到達真空度

1E-4Pa 以下

電源電圧

AC100V (単相AC200V対応可)

この製品について

■概要

本装置1台で、蛍光体の発光特性や電子源の動作性能を評価できます。 

■特徴

・真空槽と排気装置をセットにしました。 ・試料投入に便利な窓付ロードロックドアを採用。 ・ダイアフラムポンプとターボ分子ポンプのセットで完全ドライ。 ・フルレンジゲージを標準装備。 ・ワンタッチスイッチで簡単起動。

■参考価格帯 (税別)

1式、¥2,700,000~¥3,500,000

■ICF70ポート (4箇所) へ取付け出来る、標準的な付属部品例

・電流導入端子: 3KV/20A-2P、3KV/20A-4P、5KV/70A-2P、12KV/70A-1P 等 ・BNC導入端子: 1KV/3A-2P、1KV/3A-4P、5KV/7A-2P、5KV/7A-2P 等 ・熱電対導入端子: K Type、C Type、1対 又は 2対 ・手動リークバルブ: ベローズシールバルブ 又は Oリングシールバルブ ・ゲージポート: φ4、6、8、10、12、14 等各種 ・その他 メクラ蓋、覗き窓、変換フランジ、ゲートバルブ等、各種取付け出来ます。

■特注部品の例

・ヒーター付テーブル (内装) ・ガス導入ライン ・石英ガラス窓 ・排気口ゲートバルブ ・キャパシタンスゲージ

  • 型番

    卓上真空装置

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卓上真空装置 卓上真空装置の性能表

商品画像 価格 (税抜) 到達真空度 電源電圧
卓上真空装置-品番-卓上真空装置 ¥3,500,000 1E-4Pa 以下 AC100V (単相AC200V対応可)

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使用用途

#搬送吸着 #包装成形 #脱泡処理 #真空乾燥 #真空冷却 #半導体製造 #表面加工

生成方式

エゼクタ型 メカニカルブースタ型 ターボ分子型 ロータリーベーン型 ダイアフラム型

構造特性

一体型 分離型 多段型 オイルフリー型

制御機能

電磁弁内蔵型 圧力スイッチ内蔵型 デジタル制御型

対応圧力帯

粗真空対応型 中真空対応型 高真空対応型 超高真空対応型

到達圧力 Pa

0 - 1 1 - 10 10 - 1,000 1,000 - 10,000

排気速度 L/min

0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 5,000 5,000 - 10,000 10,000 - 50,000 50,000 - 100,000

モーター出力 kW

0 - 1 1 - 2 2 - 3 3 - 10 10 - 20 20 - 40 40 - 100

電源電圧 V

0 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 400 400 - 500

質量 kg

0 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 500 500 - 1,000 1,000 - 4,000

真空タンク容量 L

5 - 15 15 - 25 25 - 40

常用真空圧 kPa

-7 - -5 -5 - 75 75 - 85

冷却方式

空冷 水冷

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