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分解能
5nm
倍率
20×~150,000×
検出器
SE (二次電子) / BSE (反射電子)
真空モード
低真空/高真空
ステージ
5 軸 (X , Y , Z , R , T) モーター制御 X,Y : 40mm Z : 0~40mm R : 360° T : -45~90°
最大サンプルサイズ (mm)
80 (W) /80 (D) /40 (H)
カメラ
トップビューCCDカメラ
アパーチャー
3段階手動切り替え
電子線源
タングステンフィラメント
加速電圧
1kV~30kV (1/5/10/15/20/30) 6段階
真空ポンプ
ロータリーポンプ+ターボ分子ポンプ
OS
Windows10
モニター
22インチワイド
温度
15~30℃
湿度
80%以下 (結露しないこと)
電源
単相100VAC 50/60Hz
メインユニット
390 (W) ×380 (D) ×560 (H) 、88kg
コントロールユニット
390 (W) ×325 (D) ×560 (H) 、0kg
ロータリーポンプ
400 (W) ×160 (D) ×340 (H) 、24kg
コンプレッサ
480 (W) ×220 (D) ×490 (H) 、15kg
型番
卓上SEMシリーズ
顕微鏡関連機器 卓上SEM取扱企業
株式会社サイエンスラボラトリーズカテゴリ
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商品画像 | 価格 (税抜) | 分解能 | 倍率 | 検出器 | 真空モード | ステージ | 最大サンプルサイズ (mm) | カメラ | アパーチャー | 電子線源 | 加速電圧 | 真空ポンプ | OS | モニター | 温度 | 湿度 | 電源 | メインユニット | コントロールユニット | ロータリーポンプ | コンプレッサ |
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要見積もり | 5nm | 20×~150,000× | SE (二次電子) / BSE (反射電子) | 低真空/高真空 |
5 軸 (X , Y , Z , R , T) モーター制御 X,Y : 40mm Z : 0~40mm R : 360° T : -45~90° |
80 (W) /80 (D) /40 (H) | トップビューCCDカメラ | 3段階手動切り替え | タングステンフィラメント | 1kV~30kV (1/5/10/15/20/30) 6段階 | ロータリーポンプ+ターボ分子ポンプ | Windows10 | 22インチワイド | 15~30℃ | 80%以下 (結露しないこと) | 単相100VAC 50/60Hz | 390 (W) ×380 (D) ×560 (H) 、88kg | 390 (W) ×325 (D) ×560 (H) 、0kg | 400 (W) ×160 (D) ×340 (H) 、24kg | 480 (W) ×220 (D) ×490 (H) 、15kg |
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使用用途
#元素分析 #マッピング #自動測定 #3D分析 #低真空観察 #異物分析 #高分解能観察 #試料作製 #スクリーニング分析分解能 nm
0 - 1 1 - 2 2 - 16加速電圧 kV
0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 15 15 - 30倍率 倍
1 - 10 10 - 25 25 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 100,000 100,000 - 1,000,000 1,000,000 - 6,000,000ステージ移動範囲 °
-15 - -10 -10 - 0 0 - 70 70 - 90最大試料寸法 mm
0 - 30 30 - 80 80 - 200 200 - 1,500プローブ電流 nA
0 - 10 10 - 100 100 - 500