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ヘッド
高倍ヘッド
対物レンズ
倍率：X30 X15 W.D.：5mm 20mm
最大高さスキャン範囲
1mm
エリア高さ測定 視野範囲
0.4X0.3mm,0.8X0.6mm
繰り返し精度 (2σ)
0.2μm,0.25μm
高さ分解能
0.01μm
変倍方式
電動5段ズーム
二次元測定 視野範囲
0.63X0.47~0.05X0.04mm,1.26X0.95~0.1X0.074mm
照明
透過、同軸落射
照明光源
白色LED
オートフォーカス
TTL レーザAF／イメージAF
ストローク (X,Y,Z)
650mmX550mmX150mm
精度保証質量
30kg
XY測定精度
1.5+2.5L/1,000μm (U1X/Y) 2.5+2.5L/1,000μm (U2X/Y)
Z測定精度
1+L/1,000μm
本体重量
830kg
供給電源/消費電源
AC 100~240V±10% 50/60Hz /10A~5A
環境条件
温度：20℃±0.5K/湿度：70%以下
取得規格
CEマーキング (低電圧／EMC／レーザ)
設置寸法 (W X D)
2,500X1,900mm
型番
VMZ-K6555 Type-H取扱企業
株式会社菱光社カテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | ヘッド | 対物レンズ | 最大高さスキャン範囲 | エリア高さ測定 視野範囲 | 繰り返し精度 (2σ) | 高さ分解能 | 変倍方式 | 二次元測定 視野範囲 | 照明 | 照明光源 | オートフォーカス | ストローク (X,Y,Z) | 精度保証質量 | XY測定精度 | Z測定精度 | 本体重量 | 供給電源/消費電源 | 環境条件 | 取得規格 | 設置寸法 (W X D) |
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要見積もり | 高倍ヘッド |
倍率：X30 X15 W.D.：5mm 20mm |
1mm | 0.4X0.3mm,0.8X0.6mm | 0.2μm,0.25μm | 0.01μm | 電動5段ズーム | 0.63X0.47~0.05X0.04mm,1.26X0.95~0.1X0.074mm | 透過、同軸落射 | 白色LED | TTL レーザAF／イメージAF | 650mmX550mmX150mm | 30kg |
1.5+2.5L/1,000μm (U1X/Y) 2.5+2.5L/1,000μm (U2X/Y) |
1+L/1,000μm | 830kg | AC 100~240V±10% 50/60Hz /10A~5A | 温度：20℃±0.5K/湿度：70%以下 | CEマーキング (低電圧／EMC／レーザ) | 2,500X1,900mm |
