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フラットパネルディスプレイ製造関連装置 光配向基板走行装置 PAシリーズ-プレマテック株式会社

全型番で同じ値の指標

搬送速度

5~500 mm/sec.

駆動方式

リニアモータ (またはボールねじ+ACサーボモータ)

ステージ回転

ハーモニックギヤ+ACサーボモータ

角度補正精度

±0.01°以内

角度補正方式

CCDカメラによる画像処理、オートアライメントによる角度補正

ステージ走行精度

±0.5mm 以内 (振れ±0.05mm以内)

除電対策

フォトイオナイザ、除電バーを設置可能

F.F.U.

ULPA、またはHEPA設置可能

偏向測定器

搭載可能

ステージ冷却

別途打ち合わせ

この製品について

光配向工程において紫外線光の下を一定速度で基板を走行させる装置

  • 型番

    PAシリーズ

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フラットパネルディスプレイ製造関連装置 光配向基板走行装置 PAシリーズ PAシリーズの性能表

商品画像 価格 (税抜) 搬送速度 駆動方式 ステージ回転 角度補正精度 角度補正方式 ステージ走行精度 除電対策 F.F.U. 偏向測定器 ステージ冷却
フラットパネルディスプレイ製造関連装置 光配向基板走行装置 PAシリーズ-品番-PAシリーズ 要見積もり 5~500 mm/sec. リニアモータ (またはボールねじ+ACサーボモータ) ハーモニックギヤ+ACサーボモータ ±0.01°以内 CCDカメラによる画像処理、オートアライメントによる角度補正 ±0.5mm 以内 (振れ±0.05mm以内) フォトイオナイザ、除電バーを設置可能 ULPA、またはHEPA設置可能 搭載可能 別途打ち合わせ

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使用用途が半導体の製品

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使用用途

#殺菌 #硬化 #実験研究 #半導体 #印刷 #医療 #接着 #乾燥

ランプ出力 W/cm

50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500

波長 nm

150 - 200 200 - 300 300 - 350 350 - 400 400 - 450

照射強度 mW/cm²

0 - 100 100 - 1,000 1,000 - 5,000 5,000 - 15,000

消費電力 W

0 - 10 10 - 100 100 - 500 500 - 2,000

冷却方式

空冷 水冷

ランプ寿命 時間

500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 3,000 3,000 - 8,000 8,000 - 30,000

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この商品の取り扱い会社情報

会社概要

プレマテック株式会社は1962年に設立された生産設備装置専門メーカーです。

中国にも拠点を置いて海外へ事業拡大を行い、2022年には商号を飯沼ゲージ製作所からプレマテック株式会社に変更しました。主な事業...

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  • 本社所在地: 長野県

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