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リニアステージ VBLSシリーズ-バキュームプロダクツ株式会社

バキュームプロダクツ株式会社の対応状況

返答率

0.0%

返答時間

100.0時間

全型番で同じ値の指標

取付フランジ

ICF34

内径 (mm)

φ15

移動量 (mm)

25

最小読取量

0.2mm

寿命

10,000回

リーク量

2×10-11Pa・m3/sec以下

ベーキング温度

最高200℃

この製品について

■概要

XYステージと組み合わせて、XYZステージとして使用することが可能で、外形に台形ネジを配置した省スペースなZ移動機構です。

■特長

オールメタル製により≦200℃のベークが可能です。 駆動部にベローズを採用することで超高真空領域まで対応します。 軽量・コンパクト設計で、容易に装置の省スペース化を図れます。

  • 型番

    VBLS34

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リニアステージ VBLSシリーズ VBLS34の性能表

商品画像 価格 (税抜) 取付フランジ 内径 (mm) 移動量 (mm) 最小読取量 寿命 リーク量 ベーキング温度
リニアステージ VBLSシリーズ-品番-VBLS34 要見積もり ICF34 φ15 25 0.2mm 10,000回 2×10-11Pa・m3/sec以下 最高200℃

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使用用途

#光学調整 #顕微観察 #レーザー位置合わせ #センサ評価 #試料位置決め #測定装置組込 #マイクロアライメント #実験装置構築

移動方向

単軸型 二軸型 三軸型 回転型

駆動方式

マイクロメータ型 ウォームギア型 ネジ送り型

ガイド方式

リニアガイド型 クロスローラ型 スライドベアリング型 簡易レール型

特殊機能

中空型 真空対応型 薄型型 高耐荷重型

耐荷重 kg

0 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 30 30 - 50 50 - 100

ステージサイズ mm

20 - 80 80 - 150 150 - 250 250 - 350 350 - 450 450 - 500

ストローク mm

-10 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 250 250 - 500 500 - 800

ステージ高さ mm

10 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 300

ロック方式

マグネットロック ロレットつまみねじ ハンドルロック

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この商品の取り扱い会社情報

  • 本社所在地: 東京都
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