全てのカテゴリ

閲覧履歴

静電チャック (Electric Static Chuck; ESC) 用高圧電源-株式会社P.R.A.
💻 電子・電気機器業界用

株式会社P.R.A.の対応状況 返信の比較的早い企業

返答率

100.0%

返答時間

21.0時間

全型番で同じ値の指標

出力電圧

±1~±5kV

出力電流

1~10mA

極性

ユニポーラ・単極/パイポーラ・双極

センタータップ・ポジション

Floaring/FG/Bias

インターフェース

パラレル (アナログI/O) 、シリアル (RS-232C) 、他

この製品について

■特長

・既存の電源へのコンパチブル設計 (インターフェース・取付) 対応も可能です。 ・電流制限、極性反転、放電・機能の搭載により、ウェハーのデチャック性能を改善します。 ・クーロン型、J-R型、どちらのタイプにも対応します。

■概要

半導体製造装置で使用される高電圧電源に特有なテクニカル・アプリケーションの問題に対して、御客様個別の仕様に応じたデザイン&回路基板設計段階から対応することで、問題の改善、更には低コスト、短納期、そして高信頼性を実現します。

■静電チャック (ElectricStaticChuck;ESC) 用高圧電源

ウエハの 静電チャック方法は バイポーラのESC電源が主流ではあり、更にその技術的対処方法は以下の通りです。 ・プラス及びマイナス電極に対する電圧と、プラズマが発生した時に ウエハに発生するDCバイアス分、これらが静電チャックの吸著力に対して アンバランスを生じさせます。 ・これをキャンセルする為に ESC電源のセンタータップに対して バイアスをキャンセルする為のバイアス電圧を与え、これにより均等な吸著を実現させます。

■ESCとは

半導体素子を作るシリコンウエハや液晶パネル用のガラス基板などを扱う際に、これらを装置の真空チャンバー内で吸着・固定させることが必要になります。その時に従来のツメで固定する方法ではキズが付きやすく、特定の部分に強い力がかかって欠ける原因にもなります。 電極付近には逆極性の電荷が、またプレートの表面にはそのまた逆極性の電荷が現れることになります。この状態でプレートをシリコンウエハに近付けると、ウエハの中にも電荷が誘導されて、それぞれの電荷が引き合い、吸着されることになるのです。 その時の吸着力はプレート表面に出ている電荷の量によって決まります。この電荷を発生させるために高電圧電源 (ESCElectricStaticChuck電源) が必要となります。

■P.R.A.製ESC電源の開発

半導体製造装置で使用されているESC用の高電圧電源のほとんどは海外製であり、修理の際には海外メーカーに送って修理するために輸送コストを含めた修理費用が高価であり、修理納期も長くなっています。

  • 型番

    静電チャック (Electric Static Chuck; ESC) 用高圧電源

この製品を共有する


260人以上が見ています

最新の閲覧: 9時間前


返答率: 100.0%

返答時間: 21.0時間


無料
見積もり費用は無料です、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません


高圧電源ユニット注目ランキング

もっと見る

高圧電源ユニットの製品75点中、注目ランキング上位6点

電話番号不要

何社からも電話が来る心配はありません

一括見積もり

複数社に同じ内容の記入は不要です

返答率96%

96%以上の方が返答を受け取っています

高圧電源ユニット注目ランキング (対応の早い企業)

返答時間が24時間以内の企業の中での注目ランキング

電話番号不要

何社からも電話が来る心配はありません

一括見積もり

複数社に同じ内容の記入は不要です

返答率96%

96%以上の方が返答を受け取っています


静電チャック (Electric Static Chuck; ESC) 用高圧電源 静電チャック (Electric Static Chuck; ESC) 用高圧電源の性能表

商品画像 価格 (税抜) 出力電圧 出力電流 極性 センタータップ・ポジション インターフェース
静電チャック (Electric Static Chuck; ESC) 用高圧電源-品番-静電チャック (Electric Static Chuck; ESC) 用高圧電源 要見積もり ±1~±5kV 1~10mA ユニポーラ・単極/パイポーラ・双極 Floaring/FG/Bias パラレル (アナログI/O) 、シリアル (RS-232C) 、他

全1種類の型番を一覧でみる

類似製品

高圧電源ユニットの中でこの商品と同じ値をもつ製品
使用用途が静電気応用の製品

フィルターから探す

高圧電源ユニットをフィルターから探すことができます

使用用途

#静電気応用 #イオン応用 #電子銃 #半導体関連 #電子顕微鏡 #静電レンズ #絶縁耐圧試験 #車両 #X線 #光検出器

出力電圧 V

-200,000 - -10,000 -10,000 - -1,000 -1,000 - -100 -100 - 0 0 - 100 100 - 1,000 1,000 - 10,000 10,000 - 100,000

出力電流 mA

0 - 1 1 - 10 10 - 100 100 - 1,000 1,000 - 10,000 10,000 - 100,000 100,000 - 300,000

入力電圧 V

0 - 50 50 - 100 100 - 150 150 - 200 200 - 250 250 - 300 300 - 350 350 - 400 400 - 450

出力電力 W

0 - 1 1 - 10 10 - 100 100 - 1,000 1,000 - 2,500

重量 kg

0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 40

この商品を見た方はこちらもチェックしています

高圧電源ユニットをもっと見る

この商品の取り扱い会社情報

返答率

100.0%


返答時間

21.0時間

会社概要

P.R.A.は2004年1月設立以来、半導体製造装置周辺機器の国内の製造・修理・アップグレードのリーディングカンパニーとして、大手企業様と数多くの取引をさせて頂いております。
専門的なエンジニアリングケーパビリテ...

もっと見る

  • 本社所在地: 千葉県

この商品の該当カテゴリ

Copyright © 2025 Metoree