JIB-PS500i SEM | JIB-PS500i FIB-SEMシステム SEM
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像分解能

0.7 nm (15 kV) 1.4 nm (1 kV) 1.0 nm (1 kV、BD モード)

倍率

×50~×1,000,000 (STD モード) ×1,000~×1,000,000 (UHR モード) ×10~×19,000 (LDF モード) (128 mm × 96 mm 写真サイズ表示時)

入射電圧

0.01 ~30 kV

ビーム電流

約1 pA~500 nA以上

試料バイアス電圧

0.0 ~- 5.0 kV

電子銃

インレンズショットキーPlus 電界放出電子銃

開き角最適化レンズ (ACL)

組込み

対物レンズ

スーパーコニカルレンズ

長焦点距離 (LDF) モード

組込み

標準検出器

二次電子検出器 (SED) 、上方電子検出器 (UED) 、インレンズ反射電子検出器 (iBED)

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この製品について

◾️ 新しい試料作製ソリューション
JIB-PS500iは、TEM試料作製をアシストする3つのソリューションを提供します。試料作製からTEM観察まで、確実かつ高スループットなワークフローで作業することができます。

◾️特長
・TEM-LINKAGE
二軸傾斜カートリッジとTEM ホルダーによりTEM ⇔ FIBのリンクを容易にします。カートリッジは専用のTEM 試料ホルダーにワンタッチで装着できます。
・CHECK-AND-GO
TEM 試料を確実に作製するためには、作製した試料をその場でチェックできることが重要です。JIB-PS500i では、TEM 試料作製からシームレスにSTEM観察に移行できます。薄片加工⇔STEM観察の繰り返しにより、納得のいく試料作製が行えます。
・AUTOMATIC PREPARATION
自動TEM試料作製システムSTEMPLING2により、TEM試料作製を自動化します。自動で試料作製を行うので、オペレータースキルによる品質のばらつきがありません。

◾️ HIGH-RESOLUTION & HIGH-CONTRAST SEM Imagingもう迷わない 加工終点を見逃さない 高画質なSEM画像
・Signal detection system
標準装備のSED、UED、iBEDを含み複数の検出器を用意。用途に応じて最適な検出器を選択することで、様々な試料に対して効果的な観察が可能です。
・High resolution SEM imaging
SEM 鏡筒に新開発のスーパーコニカルレンズシステムを搭載したことにより低加速電圧の観察性能が大きく向上しました。薄片加工の終点確認用SEMとして、加工終点を見逃さないコントラストの良い鮮明な像を取得できます。
・SEM imaging of FIB-prepared cross section
超小型・薄型のリトラクタブル反射電子検出器RBEDは、ステージ傾斜時でも使用可能です。試料表面の観察のみらならず、傾斜観察が必要なFIB断面の観察においても、二次電子検出器SED、上方検出器UEDと合わせて、さまざまな検出器で最適なSEM観察が行えます。

型番
JIB-PS500i SEM

シリーズ
JIB-PS500i FIB-SEMシステム SEM

取扱企業
日本電子株式会社

カテゴリ

観察機器

電子顕微鏡

観察機器

透過型電子顕微鏡

観察機器

FIB-SEM

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JIB-PS500i FIB-SEMシステム SEM JIB-PS500i SEMの性能表

商品画像	価格 (税抜)	像分解能	倍率	入射電圧	ビーム電流	試料バイアス電圧	電子銃	開き角最適化レンズ (ACL)	対物レンズ	長焦点距離 (LDF) モード	標準検出器
	要見積もり	0.7 nm (15 kV) 1.4 nm (1 kV) 1.0 nm (1 kV、BD モード)	×50~×1,000,000 (STD モード) ×1,000~×1,000,000 (UHR モード) ×10~×19,000 (LDF モード) (128 mm × 96 mm 写真サイズ表示時)	0.01 ~30 kV	約1 pA~500 nA以上	0.0 ~- 5.0 kV	インレンズショットキーPlus 電界放出電子銃	組込み	スーパーコニカルレンズ	組込み	二次電子検出器 (SED) 、上方電子検出器 (UED) 、インレンズ反射電子検出器 (iBED)