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返答時間
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空間分解能
保証値5nm (最高分解能4.2nm)
観察視野
800nm~100μm
倍率
400~50,000倍
エネルギー分解能
分光測定 <250meV イメージング <1.7eV
Kineticエネルギー
通常15keV、最小2keV
占有面積
1.6×2.3m (高さ2.3m)
スタートエネルギー
最大1,000eV
ベースプレッシャー
2×10^-10mbar
LEEMスポットサイズ
<40μm 最小200nm (マイクロ・ディフラクションのアパーチャー使用時)
電子ビームのエネルギー幅
<300meV
試料ステージの位置再現精度
~500nm
最高試料加熱温度
最大1,500K (イメージング時)
型番
FE-LEEM P90取扱企業
株式会社東京インスツルメンツカテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 空間分解能 | 観察視野 | 倍率 | エネルギー分解能 | Kineticエネルギー | 占有面積 | スタートエネルギー | ベースプレッシャー | LEEMスポットサイズ | 電子ビームのエネルギー幅 | 試料ステージの位置再現精度 | 最高試料加熱温度 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
要見積もり | 保証値5nm (最高分解能4.2nm) | 800nm~100μm | 400~50,000倍 |
分光測定 <250meV イメージング <1.7eV |
通常15keV、最小2keV | 1.6×2.3m (高さ2.3m) | 最大1,000eV | 2×10^-10mbar |
<40μm 最小200nm (マイクロ・ディフラクションのアパーチャー使用時) |
<300meV | ~500nm | 最大1,500K (イメージング時) |
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使用用途
#元素分析 #マッピング #自動測定 #3D分析 #低真空観察 #異物分析 #高分解能観察 #試料作製 #スクリーニング分析分解能 nm
0 - 1 1 - 2 2 - 16加速電圧 kV
0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 15 15 - 30倍率 倍
1 - 10 10 - 25 25 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 100,000 100,000 - 1,000,000 1,000,000 - 6,000,000ステージ移動範囲 °
-15 - -10 -10 - 0 0 - 70 70 - 90最大試料寸法 mm
0 - 30 30 - 80 80 - 200 200 - 1,500プローブ電流 nA
0 - 10 10 - 100 100 - 500返答率
100.0%
返答時間
23.3時間
