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大気圧から超高真空まで動作、2系統の排気系搭載で腐食性ガスにも対応 ユニバーサルガス分析システム-株式会社東京インスツルメンツ

ユニバーサルガス分析システム | 大気圧から超高真空まで動作、2系統の排気系搭載で腐食性ガスにも対応 ユニバーサルガス分析システム
株式会社東京インスツルメンツ

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この製品について

■概要

UGA100／200／300型ユニバーサルガス分析システムは混合ガスのオンラインモニタリング、解析用の理想的なガス分析システムです。挿入ガスの圧力によってインレットを変えることにより、大気圧から超高真空まで対応します。排気系はダイアフラムポンプを2基 (バイパス用とメイン排気用) 搭載しているため、腐食性ガスの測定にも対応しています。装置内部のチャンバーはヒーターを装備しており、120℃でベーキングが可能です。

■特長

・大気圧～超高真空まで対応 ・100amu／200amu／300amu システム ・高速応答 (<0.2s) ・2次電子増倍管 (CEM) 標準装備 ・ヒーター内蔵 (120℃でベーキング可能) ・Windows用ソフトウェア付 (RS232 またはEthernet)

■用途

・エンジンの排気ガス測定 ・汚染物質のモニタリング ・フロンガス検出

  • 型番

    ユニバーサルガス分析システム

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大気圧から超高真空まで動作、2系統の排気系搭載で腐食性ガスにも対応 ユニバーサルガス分析システム ユニバーサルガス分析システムの性能表

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使用用途

#排ガス監視 #環境測定 #空気質評価 #工場排出管理 #安全監視 #化学反応解析 #燃焼制御 #半導体製造 #製品検査 #研究開発

測定原理

非分散赤外線型 熱伝導型 質量分析型 電気化学型 ガスクロマトグラフ型

分析対象

単成分分析型 多成分分析型

計測方式

連続測定型 バッチ測定型

構成形態

据置型 携帯型 モジュール型

測定範囲 ppm

0 - 10 10 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 10,000 10,000 - 100,000 100,000 - 1,000,000

質量数範囲 amu

1 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500

分析時間 秒

50 - 100 100 - 150

質量分解能 M/ΔM

0 - 1 1 - 2

動作温度範囲 ℃

-200 - 0 0 - 50 50 - 100 100 - 150

電源・電圧 V

0 - 20 20 - 90 90 - 180 180 - 240

応答速度 sec

0 - 1 1 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 160

精度 %FS

0 - 1 1 - 2 2 - 20 20 - 40 40 - 50

使用ガス

ヘリウム 窒素 高純度水素 精製空気 酸素

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