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サンプルガス中のH2O分子濃度の超高感度測定 水分濃度 (露点) 計測に特化したローコストモデル 微量水分測定装置 Spark H2O-株式会社東京インスツルメンツ

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返答率

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返答時間

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濃度測定範囲

0~2,000 ppm

最小検出限界 (LDL)

4~40 ppb

感度 (3σ)

3~30 ppb

精度 (1σ)

±0.75% または感度の1/3 (大きい方)

正確度

± 4% または最小検出限界 (大きい方)

応答速度

<3分 (90%応答)

動作温度

10~40℃、湿度30~80%RH (但し結露しないこと)

保存温度

-10~50℃

この製品について

■概要

TigerOptics社のSpark H2Oは、キャビティリングダウン分光法 (CRDS) によりサンプルガス中のH2O分子濃度の超高感度測定を行うガス分析装置です。 従来の露点計などの水分測定法に比べ、標準ガスによる較正が不要で、精度・信頼性が高く、応答速度が早い等のメリットがあります。装置はワンボックス型で可搬性にも優れています。

■用途

・極微量水分濃度の計測・管理 ・半導体等製造工程中のガスモニタリング ・湿度計測・湿度標準の研究開発

■特長

・NIST準拠 ・高速応答・高感度・高精度・高信頼性 ・簡単操作・メンテナンスフリー ・コンパクトなワンボックス型 ・水分濃度 (露点) 計測に特化したローコストモデル ・広い測定濃度範囲 (N2ガス中のH2O濃度:15ppb~2,000ppm) ・イーサネット・絶縁4mA-20mA出力・RS-232対応

  • 型番

    微量水分測定装置 Spark H2O

企業レビュー 5.0

Metoree経由で見積もり

2025年7月9日にレビュー済み

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サンプルガス中のH2O分子濃度の超高感度測定 水分濃度 (露点) 計測に特化したローコストモデル 微量水分測定装置 Spark H2O 微量水分測定装置 Spark H2Oの性能表

商品画像 価格 (税抜) 濃度測定範囲 最小検出限界 (LDL) 感度 (3σ) 精度 (1σ) 正確度 応答速度 動作温度 保存温度
サンプルガス中のH2O分子濃度の超高感度測定 水分濃度 (露点) 計測に特化したローコストモデル 微量水分測定装置 Spark H2O-品番-微量水分測定装置 Spark H2O 要見積もり 0~2,000 ppm 4~40 ppb 3~30 ppb ±0.75% または感度の1/3 (大きい方) ± 4% または最小検出限界 (大きい方) <3分 (90%応答) 10~40℃、湿度30~80%RH (但し結露しないこと) -10~50℃

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使用用途

#排ガス監視 #環境測定 #空気質評価 #工場排出管理 #安全監視 #化学反応解析 #燃焼制御 #半導体製造 #製品検査 #研究開発

測定原理

非分散赤外線型 熱伝導型 質量分析型 電気化学型 ガスクロマトグラフ型

分析対象

単成分分析型 多成分分析型

計測方式

連続測定型 バッチ測定型

構成形態

据置型 携帯型 モジュール型

測定範囲 ppm

0 - 10 10 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 10,000 10,000 - 100,000 100,000 - 1,000,000

質量数範囲 amu

1 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500

分析時間 秒

50 - 100 100 - 150

質量分解能 M/ΔM

0 - 1 1 - 2

動作温度範囲 ℃

-200 - 0 0 - 50 50 - 100 100 - 150

電源・電圧 V

0 - 20 20 - 90 90 - 180 180 - 240

応答速度 sec

0 - 1 1 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 160

精度 %FS

0 - 1 1 - 2 2 - 20 20 - 40 40 - 50

使用ガス

ヘリウム 窒素 高純度水素 精製空気 酸素

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  • 本社所在地: 東京都

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