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超低濃度ガス分析装置 HALO3シリーズ HALO KA H2O (超低濃度測定モデル) -株式会社東京インスツルメンツ

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返答率

100.0%

返答時間

30.5時間

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濃度測定範囲

0~20 ppm

最小検出限界 (LDL)

200~400 ppt

感度 (3σ)

60~300 ppt

精度 (1σ)

±0.75% または感度の1/3 (大きい方)

正確度

±4% または最小検出限界の1/2 (大きい方)

応答速度

<3分 (95%応答)

動作温度

10~40℃、湿度30~80%RH (但し結露しないこと)

保存温度

-10~50℃

この製品について

■概要

TigerOptics社のHALO3シリーズは、キャビティリングダウン分光法 (CRDS) によりサンプルガス中の特定のガス分子の濃度をpptレベルの超高感度で測定するガス分析装置です。 従来のガス分子濃度測定法に比べ、標準ガスによる較正が不要で、精度・信頼性が高く、応答速度が早い等のメリットがあります。装置はワンボックス型で可搬性にも優れています。

■特長

・NIST準拠 ・高速応答・高感度・高精度・高信頼性 ・簡単操作・メンテナンスフリー ・コンパクトなワンボックス型 ・サンプルガス中のH2O, CO, CO2, CH4, HFなどの微量な分子濃度を高感度測定 ・広い測定濃度範囲 (N2ガス中のH2O濃度:400ppt~20ppm, HALO KA H2O) ・イーサネット・絶縁4mA~20mA出力・RS-232対応

■用途

・極微量ガス濃度の計測・管理 ・半導体等製造工程中のガスモニタリング ・湿度計測・湿度標準の研究開発

  • 型番

    HALO KA H2O (超低濃度測定モデル)

企業レビュー

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2025年7月9日にレビュー

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超低濃度ガス分析装置 HALO3シリーズ HALO KA H2O (超低濃度測定モデル) HALO KA H2O (超低濃度測定モデル) の性能表

商品画像 価格 (税抜) 濃度測定範囲 最小検出限界 (LDL) 感度 (3σ) 精度 (1σ) 正確度 応答速度 動作温度 保存温度
超低濃度ガス分析装置 HALO3シリーズ HALO KA H2O (超低濃度測定モデル) -品番-HALO KA H2O (超低濃度測定モデル) 要見積もり 0~20 ppm 200~400 ppt 60~300 ppt ±0.75% または感度の1/3 (大きい方) ±4% または最小検出限界の1/2 (大きい方) <3分 (95%応答) 10~40℃、湿度30~80%RH (但し結露しないこと) -10~50℃

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使用用途

#排ガス監視 #環境測定 #空気質評価 #工場排出管理 #安全監視 #化学反応解析 #燃焼制御 #半導体製造 #製品検査 #研究開発

測定原理

非分散赤外線型 熱伝導型 質量分析型 電気化学型 ガスクロマトグラフ型

分析対象

単成分分析型 多成分分析型

計測方式

連続測定型 バッチ測定型

構成形態

据置型 携帯型 モジュール型

測定範囲 ppm

0 - 10 10 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 10,000 10,000 - 100,000 100,000 - 1,000,000

質量数範囲 amu

1 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 300 300 - 500

分析時間 秒

50 - 100 100 - 150

質量分解能 M/ΔM

0 - 1 1 - 2

動作温度範囲 ℃

-200 - 0 0 - 50 50 - 100 100 - 150

電源・電圧 V

0 - 20 20 - 90 90 - 180 180 - 240

応答速度 sec

0 - 1 1 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 160

精度 %FS

0 - 1 1 - 2 2 - 20 20 - 40 40 - 50

使用ガス

ヘリウム 窒素 高純度水素 精製空気 酸素

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  • 本社所在地: 東京都

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