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シリコン、サファイア、炭化けい素、セレン化亜鉛、硫化カドミウムの歪み検査 赤外複屈折位相差測定装置 Exicor PV-Si-株式会社東京インスツルメンツ

Exicor PV-Si | シリコン、サファイア、炭化けい素、セレン化亜鉛、硫化カドミウムの歪み検査 赤外複屈折位相差測定装置 Exicor PV-Si
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測定波長

1,550nm

リタデーション繰り返し測定精度

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測定スポットサイズ

2ミリ径

測定時間

最大100点/秒

インゴットサイズ

500×150mm (Squared ingot) 500×210mm (As-grown ingot)

この製品について

■概要

複屈折位相差測定装置Exicor® PV-Siは、シリコン、サファイア、炭化けい素、セレン化亜鉛、硫化カドミウムなどの複屈折分布を波長1,550nmの赤外光で測定します。モデル"500-Si-Ingot"は、シリコンウェーハに切断する前のインゴット (8インチ、500mm長) に対応します。

■特長

・シリコン、サファイア、炭化けい素、セレン化亜鉛、硫化カドミウムの歪み検査 ・インゴットのまま測定 (Squared、As grown ingots)

  • 型番

    Exicor PV-Si

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シリコン、サファイア、炭化けい素、セレン化亜鉛、硫化カドミウムの歪み検査 赤外複屈折位相差測定装置 Exicor PV-Si Exicor PV-Siの性能表

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温度範囲 ℃

-50 - 100 100 - 300 300 - 600 600 - 1,000

温度分解能 mK

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