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XYZステージ-アリオス株式会社

XYZ70114-50 | XYZステージ
アリオス株式会社

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フランジ1

φ70

フランジ2

φ114

ストローク量 (z)

50mm

最小内径

φ38mm

ベーキング温度

最高 200℃

リーク量

6.7×10^-11 Pa・m^3/sec以下

ストローク量

X－Y 各 ±10mm

ベローズ内径

φ50

材質

ベローズﾞ部－SUS 316、その他－SUS 304

この製品について

■概要

2つのフランジ間で、それぞれの軸中心のオフセット及び面間距離を可変可能な中空XYZステージです。簡易型XY機構 (SXYシリーズ) との差は、マイクロメーターを搭載しており、精密な位置調整ができます。3軸の移動機構により試料ホルダーや試料加熱機構、各種導入機、その他コンポーネントの位置調整に最適です。

■特徴

・オールメタルシールコンフラットフランジ仕様によりベーキング可能です。 ・MBE装置、表面分析装置等、各種超高真空装置用に最適です。 ・φ70CF～φ203CF まで対応しています。 ・X-Y移動はマイクロメーターヘッドとクロスローラーベアリングによる精密移動です。 ・トランスファーロッド、回転導入機、直線導入機などと組み合わせることにより、真空内への多軸運動伝達が行えます。

■オプション

－SD ミツトヨTM 製デジタルスケール

  • 型番

    XYZ70114-50

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XYZステージ XYZ70114-50の性能表

商品画像 価格 (税抜) フランジ1 フランジ2 ストローク量 (z) 最小内径 ベーキング温度 リーク量 ストローク量 ベローズ内径 材質
XYZステージ-品番-XYZ70114-50 要見積もり φ70 φ114 50mm φ38mm 最高 200℃ 6.7×10^-11 Pa・m^3/sec以下 X－Y 各 ±10mm φ50 ベローズﾞ部－SUS 316、その他－SUS 304

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ストローク mm

-50 - 0 0 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 600

最大速度 mm/s

300 - 500 500 - 1,000 1,000 - 1,500 1,500 - 2,000

可搬質量 kg

0 - 1 1 - 5 5 - 10

ユニット質量 kg

0 - 1 1 - 50 50 - 450

最小移動量 nm

30 - 100 100 - 150

耐荷重 N

0 - 10 10 - 20 20 - 30 30 - 180

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アリオス株式会社は、1972年に創業したプラズマ・真空装置製造メーカーです。 長年のプラズマ発生技術、イオン、電子利用技術開発で培ったノウハウもをとに、成膜装置、ラングミュアプローブ、ダイヤモンドCVD合成装置などの真...

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