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返答時間
3.3時間
フランジ1
φ70
フランジ2
φ114
ストローク量 (z)
50mm
最小内径
φ38mm
ベーキング温度
最高 200℃
リーク量
6.7×10^-11 Pa・m^3/sec以下
ストローク量
X－Y 各 ±10mm
ベローズ内径
φ50
材質
ベローズﾞ部－SUS 316、その他－SUS 304
型番
XYZ70114-50シリーズ
XYZステージ取扱企業
アリオス株式会社カテゴリ
| 商品画像 | 価格 (税抜) | フランジ1 | フランジ2 | ストローク量 (z) | 最小内径 | ベーキング温度 | リーク量 | ストローク量 | ベローズ内径 | 材質 |
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要見積もり | φ70 | φ114 | 50mm | φ38mm | 最高 200℃ | 6.7×10^-11 Pa・m^3/sec以下 | X－Y 各 ±10mm | φ50 | ベローズﾞ部－SUS 316、その他－SUS 304 |
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使用用途
#精密機器 #研究開発 #生産ライン #品質管理 #微細加工 #半導体製造 #製品検査 #ロボット工学駆動方式
手動型 モータ駆動型 圧電駆動型ガイド方式
リニアボール型 クロスローラ型 フレクシャ型精度レベル
マイクロ精度型 サブミクロン精度型 ナノ精度型構造形式
コンパクト型 大型移動型ストローク mm
-50 - 0 0 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 600最大速度 mm/s
300 - 500 500 - 1,000 1,000 - 1,500 1,500 - 2,000可搬質量 kg
0 - 1 1 - 5 5 - 10ユニット質量 kg
0 - 1 1 - 50 50 - 450最小移動量 nm
30 - 100 100 - 150耐荷重 N
0 - 10 10 - 20 20 - 30 30 - 180
