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100.0%
返答時間
1.4時間
プラズマ源
RF ： 0~500W 可変＋自動マッチングBOX (手動チューニング可能) (誘導結合 又は 容量結合、反応管 ： φ40×36 石英管)
RF出力電力
0~550W (13.56MHz±1kHz)
処理室
SUS 304 製
ロードロック室
SUS 304 製 ハッチポート＋Oリング式トランスファーロッド
基板ホルダー
材質 ： アルミ、240mm×300mm (MAX) 、RF 印可電極
対向電極
材質 ： アルミ、240mm×300mm (MAX) 、上下駆動 Oリング式 手動
真空排気系
メインポンプ RP＋オイルミストトラップ
ガス供給系
ニードルバルブ 2系統 (又は マスフローコントローラー)
真空計
サーモカップル真空計 (又は ダイヤフラムゲージ)
本体架台
キャスター、アジャスター付き (電源部を含む) 、本体重量 約300kg
電源部
ブレーカBOX 1式、RPスイッチパネル 1式、真空計コントローラ 1式、RF電源
用力
AC200V 3相 20A (最大) プロセスガス ： 不活性ガス SwagelokTM 1/4 又は VCRTM 1/4 2系統
型番
RFPC-550シリーズ
RFプラズマ実験装置 RFPC-550取扱企業
アリオス株式会社カテゴリ
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プラズマ装置の製品77点中、注目ランキング上位6点
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | プラズマ源 | RF出力電力 | 処理室 | ロードロック室 | 基板ホルダー | 対向電極 | 真空排気系 | ガス供給系 | 真空計 | 本体架台 | 電源部 | 用力 |
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要見積もり |
RF ： 0~500W 可変＋自動マッチングBOX (手動チューニング可能) (誘導結合 又は 容量結合、反応管 ： φ40×36 石英管) |
0~550W (13.56MHz±1kHz) | SUS 304 製 | SUS 304 製 ハッチポート＋Oリング式トランスファーロッド | 材質 ： アルミ、240mm×300mm (MAX) 、RF 印可電極 | 材質 ： アルミ、240mm×300mm (MAX) 、上下駆動 Oリング式 手動 | メインポンプ RP＋オイルミストトラップ | ニードルバルブ 2系統 (又は マスフローコントローラー) | サーモカップル真空計 (又は ダイヤフラムゲージ) | キャスター、アジャスター付き (電源部を含む) 、本体重量 約300kg | ブレーカBOX 1式、RPスイッチパネル 1式、真空計コントローラ 1式、RF電源 |
AC200V 3相 20A (最大) プロセスガス ： 不活性ガス SwagelokTM 1/4 又は VCRTM 1/4 2系統 |
プラズマ装置の中でこの商品と同じ値をもつ製品
ガス系統が2系統の製品
プラズマ装置をフィルターから探すことができます
電源 V
100 - 200 200 - 300重量 kg
0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 4,000ガス系統
オプション 1系統 2系統 3系統プラズマ出力 W
0 - 100 100 - 600 600 - 1,100
