NIR-GFP | 近赤外光弾性応力測定 NIR-GFP
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測定レンジ

1/2λ

繰り返し精度

精度

0-10nm ±0.5nm 0-100nm ±0.5nm 100-range ±5％

フレームレート

10f/s

分解能

カメラ依存

焦点距離

20mm、30mm固定

カメラインターフェイス

GigE

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この製品について

■概要NIR-GFPは、従来の可視光を光源とした光弾圧システムでは計測が難しかった、シリコンなどの半導体のチップやウェハーの残留応力の分布を赤外線を光源として自動的に計測するシステムです。

型番
NIR-GFP

シリーズ
近赤外光弾性応力測定 NIR-GFP

取扱企業
株式会社レーザー計測

カテゴリ

メーター・計測機器

応力測定器

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近赤外光弾性応力測定 NIR-GFP NIR-GFPの性能表

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	要見積もり	1/2λ	2%	0-10nm ±0.5nm 0-100nm ±0.5nm 100-range ±5％	10f/s	カメラ依存	20mm、30mm固定	GigE

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使用用途

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重量 kg

0 - 1 1 - 5 5 - 10 10 - 20 20 - 30 30 - 50

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