全てのカテゴリ

閲覧履歴

リモートプラズマ装置-株式会社セルバック

全型番で同じ値の指標

チャンバー

AlN (窒化アルミ)

プラズマ方式

ICP (誘導結合型)

RF周波数

13.56MHz

使用ガス

O2、Ar、CF4

冷却

水冷

接続

応相談

制御方式

外部入出力 (リレー) 、RS232

本体サイズ

W350×D350×H400 (mm) 、 15kg

電源

本体ユニット (AC100V) 、電源 (AC200V3相) 、50/60Hz

この製品について

独自のICPコイル設計のSLRP-01は、ガス分解に必要な電磁波をロスを少なく分解室に送り込み、高効率で高密度のプラズマを生成する事が出来ます。

■保有真空チャンバーに装着し使用する事が出来ます。

・O2プラズマ⇒有機物除去 ・Arプラズマ⇒表面洗浄 ・CF4プラズマ⇒SiO2等をダメージレスで除去

■リモートプラズマのメリット

・クリーニングガス低減 ・クリーニング速度アップ

  • 型番

    SLRP-01

この製品を共有する


190人以上が見ています

最新の閲覧: 12時間前


無料
見積もり費用は無料です、お気軽にご利用ください

電話番号不要
不必要に電話がかかってくる心配はありません

プラズマ装置注目ランキング (対応の早い企業)

返答時間が24時間以内の企業の中での注目ランキング

電話番号不要

何社からも電話が来る心配はありません

一括見積もり

複数社に同じ内容の記入は不要です

返答率96%

96%以上の方が返答を受け取っています


リモートプラズマ装置 SLRP-01の性能表

商品画像 価格 (税抜) チャンバー プラズマ方式 RF周波数 使用ガス 冷却 接続 制御方式 本体サイズ 電源
リモートプラズマ装置-品番-SLRP-01 要見積もり AlN (窒化アルミ) ICP (誘導結合型) 13.56MHz O2、Ar、CF4 水冷 応相談 外部入出力 (リレー) 、RS232 W350×D350×H400 (mm) 、 15kg 本体ユニット (AC100V) 、電源 (AC200V3相) 、50/60Hz

全1種類の型番を一覧でみる

類似製品

プラズマ装置の中でこの商品と同じ値をもつ製品
使用用途が洗浄除去処理の製品

フィルターから探す

プラズマ装置をフィルターから探すことができます

使用用途

#フィルム処理 #医療機器加工 #研究開発 #光学部品加工 #材料開発 #接着強化処理 #洗浄除去処理 #電子部品製造 #薄膜形成 #半導体製造 #表面改質

電源 V

100 - 200 200 - 300

重量 kg

0 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 4,000

ガス系統

オプション 1系統 2系統 3系統

プラズマ出力 W

0 - 100 100 - 600 600 - 1,100

この商品を見た方はこちらもチェックしています

プラズマ装置をもっと見る

この商品の取り扱い会社情報

この商品の該当カテゴリ

Copyright © 2025 Metoree