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チャンバー
AlN (窒化アルミ)
プラズマ方式
ICP (誘導結合型)
RF周波数
13.56MHz
使用ガス
O2、Ar、CF4
冷却
水冷
接続
応相談
制御方式
外部入出力 (リレー) 、RS232
本体サイズ
W350×D350×H400 (mm) 、 15kg
電源
本体ユニット (AC100V) 、電源 (AC200V3相) 、50/60Hz
型番
SLRP-01シリーズ
リモートプラズマ装置取扱企業
株式会社セルバックカテゴリ
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商品画像 | 価格 (税抜) | チャンバー | プラズマ方式 | RF周波数 | 使用ガス | 冷却 | 接続 | 制御方式 | 本体サイズ | 電源 |
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要見積もり | AlN (窒化アルミ) | ICP (誘導結合型) | 13.56MHz | O2、Ar、CF4 | 水冷 | 応相談 | 外部入出力 (リレー) 、RS232 | W350×D350×H400 (mm) 、 15kg | 本体ユニット (AC100V) 、電源 (AC200V3相) 、50/60Hz |
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