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液状ワックス アストロリキッド系-日化精工株式会社

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この製品について

アストロリキッドは、パターン付き半導体デバイスウェーハの裏面研削加工時の仮止め用ワックスとして開発され、濃度選定により塗布膜の厚みも調整できる液状ワックスです。凹凸のあるパターン面への塗布性・密着性・耐加工性に優れ、加工後はIPA等の溶剤により洗浄が可能です。

  • 型番

    アストロリキッド系

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液状ワックス アストロリキッド系 アストロリキッド系の性能表

商品画像 価格 (税抜) 適用ワーク ペア基板 適用ワーク パターン基板 厚塗り 適用ワーク パターン基板 耐熱・耐薬品 洗浄 アルコール 洗浄 炭化水素 当社:ニッカゾール系 洗浄 アルカリ 当社:キララクリーン他 洗浄 温水 60℃以上 洗浄 常温水 25℃
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ヒーター W

100 - 200 200 - 500 500 - 1,500

使用電源 V

100 - 200 200 - 300

本体重量 g

200 - 400 400 - 600 600 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 50,000

溶解吐出能力 g/h

0 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,000 2,000 - 3,000 3,000 - 5,000 5,000 - 10,000

タンク容量 ㎖

0 - 500 500 - 1,000 1,000 - 5,000

最大設定温度 ℃

0 - 150 150 - 200 200 - 250

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