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計測機器 ナノプローバ-株式会社フィジックステクノロジー

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この製品について

SmarAct社のナノプローバSMARPROBE-LXは、ナノメートル分解能のクローズドループプロービングを高い効率と安定性を実現するために開発されました。最大8個のプローブを配置することができ、サンプルステージに固定されたサンプルの分析を行う事ができます。応用例としては、5nmトランジスタなどの故障解析用のSEMや大型サンプルの大気プロービング用に光学顕微鏡に活用できます。

■特徴

・分解能1nmでのクローズドループ制御 ・アクティブな位置ホールド ・広い移動範囲と低い熱ドリフト ・30x30mm全域でのプロービング ・高速EBAC/EBICイメージング ・オールインワンのユーザーインターフェース ・全てのプローブの自動アプローチとアライメント ・SEM像でのポイント＆クリックナビゲーション

  • 型番

    ナノプローバ

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使用用途

#RF測定 #インピーダンス測定 #オプトエレクトロニクス測定 #サブテラヘルツ測定 #ハイパワー測定 #ロードプル測定 #温度特性評価 #故障解析 #信頼性試験 #微小電流測定

接触方式

メカニカルコンタクト型 マイクロコンタクト型

操作方式

手動型 半自動型

対応ウェーハサイズ

小型対応型 中型対応型 大型対応型

プローブユニット構成

マルチプローブ型 プローブカード型

対応ウエハサイズ mm

100 - 150 150 - 200

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