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測定対象
半導体ウェーハ、光学平面
ワーキングディスタンス
0~200mm
測定項目
チルト (ΘX,ΘY)
測定範囲
±54分 (円形範囲)
Repeatability
0.05分
Linearity
±0.15% of F.S. (±0.16分相当)
デジタル出力
RS-232C
出力更新レート
1,600回/秒
波長
660±10nm
出力
クラス1
ビーム径
φ1mm
外形寸法 (突起部除く)
W65×D75×H34mm
質量
0.2kg
型番
ST-3100取扱企業
株式会社カツラ・オプト・システムズカテゴリ
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| 商品画像 | 価格 (税抜) | 測定対象 | ワーキングディスタンス | 測定項目 | 測定範囲 | Repeatability | Linearity | デジタル出力 | 出力更新レート | 波長 | 出力 | ビーム径 | 外形寸法 (突起部除く) | 質量 |
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要見積もり | 半導体ウェーハ、光学平面 | 0~200mm | チルト (ΘX,ΘY) | ±54分 (円形範囲) | 0.05分 | ±0.15% of F.S. (±0.16分相当) | RS-232C | 1,600回/秒 | 660±10nm | クラス1 | φ1mm | W65×D75×H34mm | 0.2kg |
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