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マニュアルプローバー α200CS / α300CS-株式会社アポロウエーブ

α200CS | マニュアルプローバー α200CS / α300CS
株式会社アポロウエーブ

株式会社アポロウエーブの対応状況

返答率

100.0%

返答時間

43.9時間

全型番で同じ値の指標

対応ウエハサイズ

~8インチ

ステージXY 移動範囲 (粗動)

X：200mm Y：200mm

ステージXY 移動範囲 (微動)

X：±12.5mm Y：±12.5mm

ステージθ移動範囲

±5°

プラテンZ軸粗動

0ｰ0.3ｰ5mm (3段)

プラテンZ軸微動

10mm

外形寸法 (W×D×H)

690×780×620mm

重量

80kg

この製品について

■特徴

・-60℃～+350℃の温度特性評価、微小電流測定対応モデル。 ・それぞれ8、12インチまでのウエハサイズに対応したマニュアルプローバです。 ・ドライエアを置換できるコンパクトシールド機構により、マイナス温度時も結露しません。 ・コンパクトなシールドの効果により、安定した微小電流測定が可能です。 ・ステージのXYはクイックポジションでの粗動、マイクロメーターでの微動機構を持っています。 ・プラテンのZはレバー操作での粗動とマイクロメーターでの微動機構を持っています。 ・ポジショナーは8個置くことができます。

■アプリケーション

・微小電流IV測定 (fAレベル) ・CV測定 ・20kV/200Aレベルのハイパワー測定 ・高周波測定 ・シート抵抗等の各種抵抗測定 ・高低温環境での温度特性試験 ・TDDB等の信頼性試験

■オプション

・-60～350℃のサーモチャック ・チャックのトライアキシャル接続 ・チャックの高電圧・大電流対応化 ・CCDカメラタイプへの変更 ・プローブカード (4.5インチ角形基板) ・光照射機構

■選べる光学系

・実体顕微鏡 (標準) ・三眼実体顕微鏡 ・ズームマイクロCCDカメラ ・金属顕微鏡

■接続が想定される測定器

・半導体パラメータアナライザ ・パワーデバイスアナライザ ・ソースメジャーユニット ・カーブトレーサ ・LCRメータ ・デジタルマルチメータ ・インピーダンスアナライザ ・ネットワークアナライザ ・その他、各社の各種測定器

  • 型番

    α200CS

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マニュアルプローバー α200CS / α300CS α200CSの性能表

商品画像 価格 (税抜) 対応ウエハサイズ ステージXY 移動範囲 (粗動) ステージXY 移動範囲 (微動) ステージθ移動範囲 プラテンZ軸粗動 プラテンZ軸微動 外形寸法 (W×D×H) 重量
マニュアルプローバー α200CS / α300CS-品番-α200CS 要見積もり ~8インチ X：200mm Y：200mm X：±12.5mm Y：±12.5mm ±5° 0ｰ0.3ｰ5mm (3段) 10mm 690×780×620mm 80kg

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使用用途

#RF測定 #インピーダンス測定 #オプトエレクトロニクス測定 #サブテラヘルツ測定 #ハイパワー測定 #ロードプル測定 #温度特性評価 #故障解析 #信頼性試験 #微小電流測定

対応ウエハサイズ mm

100 - 150 150 - 200

システム重量 kg

700 - 800 800 - 900 900 - 1,100

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この商品の取り扱い会社情報

株式会社アポロウエーブ

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会社概要

株式会社アポロウエーブは2000年に設立した、半導体向けプローバー・プローブガードの専門メーカーです。 プローバー・プローブガードは半導体の電気的検査に用いられる器具で、半導体製造工程で用いられています。様々な形状、極...

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  • 本社所在地: 大阪府

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