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出力電圧

±6kVp

出力電流

±60Ap

パルス波形

正弦波状

繰り返し

2MHz

この製品について

この高電圧パルス電源ではMOS-FETの中でも取分け高電圧、大電流、高速の素子を使用することにより、2MHzという極めて高い周波数で且つ±6kVという非常に高い電圧パルスを発生します。又、360kWと非常に高いピーク出力を発生できます。高電圧、大電流、且つ高周波動作を安定に行うために、主回路基板及び制御基板はノイズの発生を抑え、又、ノイズに誤動作しづらい構造、構成にしています。 更に、負荷が異常動作をした場合には、異常を極めて高速に検出し、MOS-FETのゲートを停止し、緊急遮断します。異常発生からMOS-FET遮断までの時間が非常に高速になっており、頻繁に負荷異常が発生する場合にも安心して使用することができます。もちろん、ノイズ試験においても、誤動作、異常動作の起きないことを確認しています。 本超高繰り返し高電圧パルス電源は、回路内の浮遊インダクタンス、浮遊容量を極力小さくすることで余裕をもって2MHzのパルス発生を行っており、且つ、結果、高効率でコンパクトな設計になっています。今後、パルスレーザー電源、半導体プラズマ処理、表面改質などへの応用が期待される。

  • 型番

    超高繰り返し高電圧パルス電源

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高周波電源 超高繰り返し高電圧パルス電源 超高繰り返し高電圧パルス電源の性能表

商品画像 価格 (税抜) 出力電圧 出力電流 パルス波形 繰り返し
要見積もり ±6kVp ±60Ap 正弦波状 2MHz

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使用用途がプラズマ生成の製品

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使用用途

#プラズマ生成 #電子ビーム #半導体製造

出力電流 A

-1 - 1 1 - 50 50 - 100 100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 1,500

出力電圧 V

-6,000 - 0 0 - 500 500 - 1,000 1,000 - 1,500 1,500 - 3,000 3,000 - 50,000

パルス幅 ms

0 - 1 1 - 10 10 - 100

周波数 kHz

0 - 10 10 - 100 100 - 200 200 - 2,000

入力電圧 V

100 - 200 200 - 300 300 - 500

冷却方式

強制空冷 水冷 空冷

質量 kg

1 - 10 10 - 30 30 - 100 100 - 200

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この商品の取り扱い会社情報

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2.1時間

会社概要

企業名 株式会社パルスパワー技術研究所
創業 2009年5月8日
所在地 滋賀県草津市橋岡町61
資本金 1,000万円
代表者 代表取締役 徳地 明
売上高 3.9億円...

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  • 本社所在地: 滋賀県

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