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各種電源・ロボット関連 成膜用電源/EBガン DC PULSE電源 DC-5-P/DC-10-P-アルバック販売株式会社

アルバック販売株式会社の対応状況

返答率

100.0%

返答時間

336.9時間

全型番で同じ値の指標

入力電圧

AC208V

変動範囲

AC187~229V

相数、周波数

3相 50/60Hz

入力容量

8kVA

最大定格電力

5kW

定格電流

12.5A

定格電圧

650V/800V

発振周波数

10kHz~250kHz

逆パルス幅

0.4μs~5μs 0.1μs刻みで選択可能

制御方式

定電力制御 (P制御) /定電流制御 (I制御) /定電圧制御 (V制御)

制御精度

定格出力の±0.5%以下または設定値の±1%のどちらか大きい方

制御保証範囲

定電力制御 定格電力値の10~100%

並列運転

マスター/スレーブにより最大6台まで制御可能 (同一機種において可能)

外部制御

アナログ/デジタル, RS-232C, RS-485

冷却方式

強制空冷

外形寸法 (W×D×H)

483mm×630mm×133mm (突起物含まず)

質量

29kg

適合規格

CE/SEMI F47/RoHS指令

動作周囲温度

5℃~40℃ (結露なき事)

動作環境

直射日光、熱、ホコリ、振動をさけること、腐食性ガスを含まぬこと

この製品について

■概要

DCパルス電源は、反応性プロセスで発生するアークに有効な電源です。この電源は、設定した周期で出力電圧を反転し、ターゲット表面の電荷蓄積を打ち消すことで、歩留り・スループットの向上を実現します。

■用途

・FPD用反応性スパッタリング装置 ・産業コーティング用反応性スパッタリング装置 ・カラーTFT用反応性スパッタリング装置 特長

■高スループット

異常放電を削減することでハイパワーの投入が可能

■基板ダメージの低減

アーク起因の基板ダメージを低減可能

■逆パルス周波数の変更可能

10kHz~250kHzの範囲で可能

■マスター/スレーブ接続により大容量化が可能

最大6台までの並列運転可能 (同一機種において可能)

■DC出力も可能

PULSE機能を停止し、超低アーク性能なDC電源としても使用可能

  • 型番

    DC-5-P

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各種電源・ロボット関連 成膜用電源/EBガン DC PULSE電源 DC-5-P/DC-10-P DC-5-Pの性能表

商品画像 価格 (税抜) 入力電圧 変動範囲 相数、周波数 入力容量 最大定格電力 定格電流 定格電圧 発振周波数 逆パルス幅 制御方式 制御精度 制御保証範囲 並列運転 外部制御 冷却方式 外形寸法 (W×D×H) 質量 適合規格 動作周囲温度 動作環境
各種電源・ロボット関連 成膜用電源/EBガン DC PULSE電源 DC-5-P/DC-10-P-品番-DC-5-P 要見積もり AC208V AC187~229V 3相 50/60Hz 8kVA 5kW 12.5A 650V/800V 10kHz~250kHz 0.4μs~5μs 0.1μs刻みで選択可能 定電力制御 (P制御) /定電流制御 (I制御) /定電圧制御 (V制御) 定格出力の±0.5%以下または設定値の±1%のどちらか大きい方 定電力制御 定格電力値の10~100% マスター/スレーブにより最大6台まで制御可能 (同一機種において可能) アナログ/デジタル, RS-232C, RS-485 強制空冷 483mm×630mm×133mm (突起物含まず) 29kg CE/SEMI F47/RoHS指令 5℃~40℃ (結露なき事) 直射日光、熱、ホコリ、振動をさけること、腐食性ガスを含まぬこと

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出力電圧 V

-6,000 - 0 0 - 500 500 - 1,000 1,000 - 1,500 1,500 - 3,000 3,000 - 50,000

パルス幅 ms

0 - 1 1 - 10 10 - 100

周波数 kHz

0 - 10 10 - 100 100 - 200 200 - 2,000

入力電圧 V

100 - 200 200 - 300 300 - 500

冷却方式

強制空冷 水冷 空冷

質量 kg

1 - 10 10 - 30 30 - 100 100 - 200

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この商品の取り扱い会社情報

返答率

100.0%


返答時間

336.9時間

会社概要

アルバック販売株式会社は、1970年に設立された、真空機器関連の専門商社です。 株式会社アルバック(神奈川県)のグループ会社の1社であり、アルバック社の真空機器の国内販売を担います。販売先は、大手メーカーや官公庁・大学...

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  • 本社所在地: 東京都

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