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分析・計測機器 表面分析装置 走査型オージェ電子分光分析装置 (AES/SAM) PHI 4700 Thin Film Analyzer-アルバック販売株式会社

PHI 4700 Thin Film Analyzer | 分析・計測機器 表面分析装置 走査型オージェ電子分光分析装置 (AES/SAM) PHI 4700 Thin Film Analyzer
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感度

1.6Mcps (Cu LMM) @10 kV, 10nA, △E/E:0.4%

検出器

マルチチャンネル検出器 (16チャンネル)

電子源

LaB6

ステージ

5軸モータ制御

到達真空度

6.7×10^-8 Pa以下

ソフトウェア

SmartSoft™ (測定ソフトウェア Windows^®XP) PHI MultiPak™ (解析ソフトウェア Windows^®XP)

この製品について

■概要

電子分光法 (AES：Auger Electron Spectroscopy) は、固体表面に電子線を照射することにより放出されるオージェ電子のスペクトルを測定し、元素組成に関する情報を得る手法です。 PHI 4700 Thin Film Analyzerは、世界最高のオージェ感度1.6Mcps (電流値10nA) を有するエネルギーアナライザを採用し、スピーディな深さ方向分析を実現しました。ソフトウェアは使い易さに定評のあるSmartSoftTMを採用、1台のコンピュータでSEMとオージェをコントロールし、世界初のオージェ自動高さ調整機能を装備するなど、充実したオージェ自動測定機能を誇ります。

■特長1：最高のコストパフォーマンスでのオージェ深さ方向分析

PHI 4700 Thin Film Analyzerは、微小部の深さ方向分析に特に優れたコストパフォーマンスを発揮するオージェ電子分光分析装置です。SEM上で指定したミクロンオーダーの微小部の高感度短時間の深さ方向分析が可能です。

■特長2：高感度アナライザと自動測定によるハイスループット測定

PHI 4700 Thin Film Analyzerでは高感度アナライザにより測定時間が短縮されました。 さらに、自動測定機能が装備されているため、多数の試料を短時間で測定できる生産性の高い装置となっています。自動測定は、誰でも手軽に行なえるようになっており、ソフトウェア画面上に表示される試料ホルダー上をクリックするだけで測定位置の登録が行なえます。製品・プロセスの管理のための総計的解析に必要なデータ取得も可能です。 ※他にも特長がございます。

  • 型番

    PHI 4700 Thin Film Analyzer

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分析・計測機器 表面分析装置 走査型オージェ電子分光分析装置 (AES/SAM) PHI 4700 Thin Film Analyzer PHI 4700 Thin Film Analyzerの性能表

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アルバック販売株式会社は、1970年に設立された、真空機器関連の専門商社です。 株式会社アルバック（神奈川県）のグループ会社の1社であり、アルバック社の真空機器の国内販売を担います。販売先は、大手メーカーや官公庁・大学...

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