PHI X-tool | 分析・計測機器表面分析装置走査型X線光電子分光分析装置 (XPS/ESCA) PHI X-tool
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最小ビーム径

20μm

最高エネルギー分解能

0.5eV以下 (Ag3d 5/2)

試料ホルダーサイズ

75mm×75mm

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この製品について

■概要PHIX-toolは簡単操作で高性能XPSを実現する自動マイクロXPS装置です。

特長
■卓越した操作性PHIX-toolソフトウェアは、シンプルで直感的なタッチパネルにより、あらゆるXPS測定を簡単操作でサポートします。

測定操作はマニュアル設定から完全自動測定 (自動定性・定量・解析・レポート作成) まで自由に選ぶことができるため、XPS経験者から未経験者まで、あらゆるユーザー層に対応します。また、タブレット型PCを採用することで、よりスマートな操作環境を実現しました。

■3ステップで測定開始、レポート作成までを自動で行います。①サンプル導入②条件選択③測定開始

■自動測定・自動レポート分析点のAuto-Zアライメント (高速自動高さ調整) 機能、絶縁物試料の全自動中和機能を搭載。測定位置を指定するだけで、未知試料の測定から解析まで実行します。

■自動解析の内容・定性：ピーク検出および同定
・定量：自動ピーク範囲設定および定量
・カーブフィット：プリセット条件によるカーブフィット実行
・レポート：自動日本語レポート作成機能

■多様な試料観察機能PHI X-toolは試料観察用として、a) イントロカメラ画像、b) ライブビューカメラ画像、c) X線励起二次電子像 (SXI) の3つの機能を採用しています。これらの機能を合わせもつことで、試料の大きさや形態を問わず容易に測定位置を設定することができます。

■詳細な条件設定も直感的な操作で容易に実現a) 測定モード選択画面
モードの選択により、詳細な材料や目的に合わせた分析条件設定が可能です。

b) 測定元素を選択する周期律表画面
各光電子ピークラインおよびオージェピークを指定できます。

c) ナロースペクトルの測定条件を設定する画面
パスエネルギー、ステップ、積算時間などを設定できます。

d) コメント入力画面
ファイル名や試料名は日本語入力が可能です。

※他にも特長がございます。

型番
PHI X-tool

シリーズ
分析・計測機器表面分析装置走査型X線光電子分光分析装置 (XPS/ESCA) PHI X-tool

取扱企業
アルバック販売株式会社

カテゴリ

アナライザ

分光分析装置

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分析・計測機器表面分析装置走査型X線光電子分光分析装置 (XPS/ESCA) PHI X-tool PHI X-toolの性能表

商品画像	価格 (税抜)	最小ビーム径	最高エネルギー分解能	試料ホルダーサイズ	オプション
	要見積もり	20μm	0.5eV以下 (Ag3d 5/2)	75mm×75mm	ドライポンプ、オフラインデータ処理システム、データ解析ソフトウェア (MultiPak)

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使用用途

#材料分析 #金属分析 #品質管理 #研究開発 #環境分析 #プロセス管理 #食品医薬品 #バイオ分析 #表面界面分析 #電子デバイス #燃焼プラズマ #鑑識分析

波長範囲 nm

100 - 500 500 - 1,000 1,000 - 2,500

分解能 nm

0 - 1 1 - 10 10 - 20

重量 kg

0 - 10 10 - 50 50 - 100 100 - 200 200 - 400 400 - 700

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